Caratterizzazione Superficiale / Campioni di Calibrazione
Standard per Profilometri, AFM, SEM
Servizi e Ricertificazioni
Ricertificazioni
La ricertificazione assicura un’elevata accuratezza di calibrazione ed una durata maggiore dello standard, minimizzando gli errori nell’analisi SPC. Gli standard vengono ricertificati generalmente una volta all’anno.
ISO 9000
Per facilitare la certificazione ISO 9000 dei clienti, VLSI fornisce risposte scritte alla maggior parte delle domande fatte in occasione di audit.
SRC-100 Cella solare di riferimento
Campione di riferimento per Simulatori Solari. Le misure di I-V richiedono una sorgente di insolazione calibrata, ( potere solare radiante incidente su una superficie), per illuminare una Cella solare.
La Cella Solare di riferimento della VLSI Standard è progettata per calibrare la irradiazione del Simulatore Solare usato per i test su Celle Solari e Moduli.
Standard dimensionali
Standard Dimensionali
Gli STS Standard per topografia superficiale sono stati creati per la caratterizzazione e la calibrazione di molti tipi di microscopi quali: microscopi ottici, elettronici e a scansione.
La combinazione di altezze calibrate e dei pitch permette la calibrazione tridimensionale di microscopi a interferometria ottica.
Standard per i difetti
Standard di contaminazione assoluto
Gli Standard di contaminazioni assoluti (ACS) sono wafer di silicio nudo con un deposito di sfere di lattice microscopiche sulla superficie. Questi standard sono stati pensati per la calibrazione e la misura delle particelle per strumenti di controllo dei wafer.
Standard per lo Spessore
Wafer per la misura dello spessore di film di Biossido di Silicio per la calibrazione di strumenti ottici
Consistono in un wafer di silicio con un pattern di biossido di silicio cresciuto termicamente.
L’area certificata è la regione circolare di 10 mm nel centro del .wafer. Sono disponibili nelle seguenti misure: 100, 125, 150, 200 mm.
Spessori: 4.5, 7.5, 12, 25, 50, 100, 125, 200, 285, 400, 675, 1010 nm.
Tracciabilità: NIST.
Standard per misure di resistività
Campioni di Resistivita Standard
Gli standard per Resistivita sono realizzati in Silicio drogato n o p con certificazione NIST della misura.
Sono disegnati per essere misurati con strumenti che lavorano in modalita contatto (four point probe) e non contatto (eddy current).
Formato : 75mm, 200mm Bulk
Resistivita : 0.002 ohm cm - 88 ohm cm (RS8) 0.002 ohm cm - 180 ohm cm (RS3)
Resistenza di Strato: 0.