Strumentazione e controllo di Processo / Misura e Controllo Pressione, Flussi - Analisi Gas
Analisi dei Gas
Cirrus analisi gas in pressione atmosferica
Sistema di monitoraggio processi PVD ad alte prestazioni.
L’analizzatore Cirrus incorpora la tecnologia di analisi quadrupolare applicata all’analisi gas a pressione atmosferica in un sistema compatto e robusto.
Dotato di interfaccia Ethernet il sistema può essere utilizzato anche in remoto attraverso una connessione Internet.
e-Vision , e-Vision Plus Web Enabled RGA
I quadrupoli della serie E-Vision rappresentano un significativo avanzamento nella tecnologia degli RGA grazie alla possibilità di connessione alle reti informatiche che consentono la visualizzazione e la diagnostica in remoto del vuoto.
HPQ2/2S High Pressures RGA
Quadrupoli per alte pressioni di processo senza pompaggio differenziale.
I quadrupoli HPQ2 e HPQ2S rappresentano l’ultima evoluzione nel settore dell’analisi RGA ad alte pressioni ma senza pompaggio differenziale.
Benché siano stati progettati per soddisfare i severi requisiti dell’industria dei semiconduttori HPQ2 e HPQ2S sono ideali anche per altri tipi di applicazioni come i processi PVD.
MicroVision Plus Smart Head RGA
Il quadrupolo Microvision Plus è il prodotto di punta di MKS Spectra e rappresenta il cuore di ogni prodotto per monitoraggio processi e monitoraggio gas.
Equipaggiato con l’ultima evoluzione di generatori RF e di elettronica di acquisizione dati il Microvision Plus RGA consente di ottenere un livello di prestazioni in grado di soddisfare i requisiti applicativi più complessi.
MultiGas 2030 FTIR Analizzatore di Gas Continuo
Il Multigas™ 2030 e un FTIR capace di misurare concentrazioni di gas dai ppm/ppb in su per un vasto assortimento di applicazioni quali emissioni da ciminiera, monitoraggio ambientale, monitoraggio della purezza, riduzioni catalitiche selettive. Il Multigas 2030 esegue analisi in miscele che possono contenere sino al 30% di vapor d’acqua e puo’ analizzare simultaneamente sino a 30 gas.
MultiGas 2030-HS Analisi Gas FTIR ad alta velocità (5 Hz)
il Multigas™ 2030HS è un FTIR ad alta risoluzione pensato in modo specifico per applicazioni nel settore automobilistico, per lo studio delle emissioni dei motori a benzina , diesel, gpl e per l’ottimizzazioni di processi di catalisi riduttiva selettiva con frequenze di campionamento fino a 5Hz.
L’analizzatore e progettato per gestire flussi in ingresso anche oltre i 100L/min, e si possono analizzare simultaneamente fino a 20 diversi tipi di gas.
MultiGas 2032 Analizzatore FTIR per la purezza dei gas
Il Multigas™ Purity e un analizzatore di gas con tecnologia FTIR capace di analizzare contaminanti in concentrazioni dell’ordine dei ppb in gas di processo puri. La qualita di gas di processo quali l’NH3, L’NF3 o L’H2 e stata notevolemente migliorata attraverso le analisi condotte con il Multigas Purity.
Vision 1000B
Sistema di monitoraggio continuo della pressione di base di sistemi di processo.
Il sistema e’ disegnato in modo specifico per monitorare i livelli di gas residui che possono impattare negativamente sulla qualità del prodotto.
Vision 1000E
Quadrupolo specifico per monitoraggio in situ dei processi di attacco in plasma.
Ideale per la qualifica di nuovi processi e nuove camere di attacco consente una caratterizzazione precisa dell’end point ed un’ideale ottimizzazione di processo. Può essere integrato con la maggior parte delle camere di attacco in plasma commerciali.
Vision 1000I
Nel passato non sono stati compresi a fondo i vantaggi dell’utilizzo degli RGA per migliorare la produttività degli impiantatori. Questo perché non sono mai stati integrati con tali macchine allo scopo di ottenere un’operatività automatizzata senza la necessità di avere un operatore dedicato all’ interpretazione dei dati.
Vision 1000P
Il sistema MKS Spectra Vision 1000 P introduce un nuovo approccio nel monitoraggio dei processi PVD perché richiede una conoscenza minima delle problematiche dell’analisi residua dei gas e richiede un livello bassissimo di interazione operatore/macchina.
Il quadrupolo Vision 1000P è costituito da una elettronica "Smart Head" con sorgente ionica chiusa.