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PRODOTTI GGK

OCCASIONI

Strumentazione e controllo di Processo / Alimentatori RF e DC - Generatori di Ozono

MKS Instruments - Sorgenti a plasma e Generatori di Ozono

Generatori di ozono

La famiglia di prodotti per l´ozono comprende generatori di ozono compatti e ad alta concentrazione, sottosistemi di erogazione del gas ozono controllati con chiusura a circuito chiuso, sottosistemi di erogazione del liquido di ozono altamente concentrato, elevati livelli di concentrazione e accessori per l´ozono per la miscelazione del flusso e la distruzione dell´ozono.

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Sorgenti per il plasma remoto

MKS progetta e produce sorgenti al plasma RF, per energizzare e dissociare i gas. I gas fluorurati come NF3 vengono usati per pulire i depositi indesiderati dalle pareti delle camere di processo a vuoto. Le sorgenti di plasma per le sostanze chimiche di processo includono ossigeno, azoto e idrogeno.

 

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