Sistemi di processo / Sistemi di attacco e deposizione in vuoto
Sistemi da sputtering modulari
Batch Systems
Sviluppo e produzione di strati metallici e dielettrici per substrati piccoli e medi con possibilità di selezionare processi di pretrattamento,deposizione, ritrattamento, ecc. per microelecttronica, MEMS, sensori, ottica, fotovoltaico, superconduttori ad alta temperatura.
In-line Systems
Sviluppo e produzione di strati metallici e dielettrici per substrati piccoli e medi con possibilità di selezionare processi di pretrattamento,deposizione, ritrattamento, ecc. per microelecttronica, MEMS, sensori, ottica, fotovoltaico, superconduttori ad alta temperatura.