Caratterizzazione Superficiale / Preparativa per la microscopia SEM
Metallizzatori
108 auto Sputter Coater
Lo sputter coater della serie 108auto può essere usato in modo automatico o manuale. Il sistema permette inoltre di poter effettuare il rientro in camera del gas alla pressione atmosferica in automatico con un gas inerte o non a seconda delle preferenze del cliente.
108 auto/SE Sputter Coater
Il sistema 108auto/SE ha le medesime specifiche della versione 108auto, ma con differente dimensione della camera di processo che è 150mm Ø (5.9”) x 165 mm (6.5”).
È proposto per chi necessiti che lo spessore del film deposto abbia un’elevata uniformità.
108 Carbon Coater
Il metalizzatore 108carbon/A utilizza una innovativa sorgente di evaporazione. La tensione e la corrente sono monitorate da un sensore a filo, inserito all’interno della testa di evaporazione, grazie a questo accorgimento la sorgente è controllata come parte del ciclo di retroazione.
Inoltre utilizzando le barre in grafite si riesce a garantire una elevata stabilità e riproducibilità nella deposizione.
208carbon Carbon coater per alto vuoto
Il metalizzatore 208carbon, rappresenta il più avanzato metalizzatore per applicazioni quali TEM, SEM e microsonde. Il suo progetto di tipo modulare consente una rapida modifica della configurazione garantendo così una impareggiabile flessibilità. Alimentatore della sorgente Elettronica completamente integrata, con controllo della potenza di tipo a retroazione.
208HR Metalizzatore per alta risoluzione
Le caratteristiche principali sono:
Ampia scelta di materiali da deposizione Il raffinato progetto della testa magnetron e l’efficiente sistema della gestione del gas, consentono di utilizzare una vasta gamma di target da sputtering.
Raffinato controllo dello spessore deposto Il film deposto è ottimizzato per i microscopi FEG utilizzando il controllore di spessore MTM-20 ad alta risoluzione.
Mtm-10 e Mtm-20 Misuratori di spessore
Lo strumento compatto MTM-10, è un misuratore di spessore a basso costo. Originariamente è stato progettato per essere applicato nella preparazione dei campioni per microscopia elettronica, ma è anche adatto in applicazioni in sistemi di deposizione più complessi. Consente di memorizzare parametri per due soli materiali.
Target per sputter coater
E’ disponibile un’ampia gamma di target per sputtering per la preparazione dei campioni per la microscopia elettronica a scansione, sia nella forma che nel loro spessore e purezza.