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PRODOTTI GGK

OCCASIONI

Caratterizzazione Superficiale / Misure di spessore, profili, rugosità, stress

ULVAC - Ellissometri spettrali

Ellissometro UNECS 1500A

Ellissometro spettroscopico in versione da banco con stage portacampione  motorizzato in X,Y,R e Z per campioni con diametro fino a 150 mm; consente di effettuare mappature 2D di un wafer da 150mm di diametro in poco più di un minuto.

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Ellissometro UNECS 1500M

Ellissometro spettroscopico in versione da banco con stage manuale X,Y e R, per campioni con diametro fino a 150 mm

  • Gamma spettrale standard   da 530 nm a 750 nm
  • Gamma spettrale opzionale  da 380 nm a 760 nm...

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Ellissometro UNECS 2000A

Ellissometro spettroscopico in versione da banco con stage motorizzato in X,Y,R e Z per wafer da 200 mm di diametro, consente di effettuare mappature 2D del wafer intero in poco più di un minuto.

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Ellissometro UNECS 3000A

Ellissometro spettroscopico in versione da banco con stage motorizzato in X,Y,R per wafer da 300 mm, consente di effettuare mappature 2D di un wafer intero (da 300mm) in poco più di due minuti.

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Ellissometro UNECS Portable

Ellissometro spettroscopico in versione portatile, consente di poter essere usato direttamente anche su campioni di grosse dimensioni (anche in verticale) senza doverli sacrificare, ovvero rompere o spezzare.

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Ellissometro UNECS-1M

Ellissometro spettroscopico di tipo compatto, sviluppato per essere integrato in macchine da processo.

Ideale sia per sistemi che lavorano sottovuoto o ambienti che operano a pressione atmosferica.

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