Generatori DC per plasmi

La i generatori DC per plasmi della famiglia RPDG fornisce potenza DC in modalità pulsata asimmetrica unipolare e bipolare per processi PVD (Physical Vapour Deposition), CVD (Chemical Vapour Deposition) e bias in PVD, con possibilità di miglior controllo della qualità dei rivestimenti. RPG 50, 100 e 200. Generatori DC pulsati in modo bipolare asimmetrico o unipolare, con frequenza e duty cycle programmabili. Potenza d’uscita rispettivamente da 5kW – 10kW – 20kW.

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