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OCCASIONI

Caratterizzazione Superficiale / Campioni di Calibrazione / VLSI Standards - Standard per Profilometri, AFM, SEM

Standard dimensionali

Standard Dimensionali

Gli STS Standard per topografia superficiale sono stati creati per la caratterizzazione e la calibrazione di molti tipi di microscopi quali: microscopi ottici, elettronici e a scansione.
La combinazione di altezze calibrate e dei pitch permette la calibrazione tridimensionale di microscopi a interferometria ottica. Nel caso di microscopi a forza atomica ed a scansione, gli STS permettono una calibrazione tridimensionale tracciabile NIST, l’accertamento e la calibrazione della linearità della scansione e il rapido accertamento della forma e integrità della sonda.
Tecniche di produzione molto precise permettono di ottenere una topografia molto regolare, che consente misurazioni accurate in tutta l’area di lavoro dello standard.
IISTS è certificato e tracciabile NIST sia per il passo che per l’altezza del gradino. Sia lo standard che il riferimento non sono ricertificabili.
Misure disponibili: supporto di quarzo da 2”x2”x0.25”, wafer di silicio da 100mm, wafer di silicio da 125 mm, wafer di silicio da 150mm, wafer di silicio da 200 mm.


Standard per spessori alti

Questi standard sono stati progettati per la calibrazione di profilometri. Essi sono formati da un supporto di quarzo da 25mm x 25mm x3 con una struttura a trench che permette di determinare le dinamiche dello stilo e la sua integrità.
La scelta del materiale assicura una superficie estremamente piatta e liscia, unitamente al parallelismo delle superfici superiore ed inferiore contenuto entro pochi secondi di arco. Per profilometri ottici può essere aggiunto uno strato opzionale riflettente di cromo.
L’area di calibrazione consiste in una struttura a trench negativo di 1mm di larghezza e 2.5mm di lunghezza chiaramente indicato da due indicatori (puntatori) .
Ogni standard possiede un numero di serie che lo identifica unitamente ai dati di certificazione che riportano anche l’esatta profondità e le specifiche informazioni sull’accuratezza.


Standard per spessori sottili

Si tratta di standard con tracciabilità NIST con attacco in quarzo e deposito di cromo, adatti alla calibrazione di microscopi e profilometri meccanici o ottici. Questi standard sono formati da un supporto di quarzo da 25mm x 25mm x3 con una struttura di riferimento a trench. La scelta del materiale assicura una superficie estremamente piatta e liscia unitamente al parallelismo delle superfici superiore ed inferiore contenuto entro pochi secondi di arco.