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PRODOTTI GGK

OCCASIONI

Caratterizzazione Superficiale / Misure di spessore, profili, rugosità, stress, nanoindentazione / KLA-Tencor - Profilometri a stilo ed interferometrici

Profilometro serie P7


 

La tecnologia del profilometro P7  si base sulla ben consolidata e lunga esperienza di KLA-Tencor di progettazione e realizzazione di profilometri meccanici a stilo per Semiconduttori, Solare, Optoelettronica ed R&D.

Il P7 riassume nel suo profilo tecnologico tutte le tecnologie di punta di KLA per la profilometria a stilo.

Lo strumento consente  di effettuare misure 2D e 3D, scansioni lunghe, misure di stress, di altissima risoluzione ed in sequenza.

Lo strumento utilizza un sensore di tipo capacitivo che garantisce la più alta accuratezza, riproducibilità, ripetibilità ed la minore deriva termica disponibile sul mercato.

È dotato di tecnologia “Point&Click” per una facile navigazione del campione ed è equipaggiato in configurazione standard col software Apex 2D, disponibile in opzione anche in 3D.

Tra le principali applicazioni dello strumento vi sono:

  • Misura di film sottili
  • Misura di fotoresist e film soffici
  • Misura di trench
  • Caratterizzazione di rugosità e planarità
  • Misura dello stress in 2D
  • Analisi dimensionale
  • Ricostruzione topografica 3D
  • Revisione di difettosità