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PRODOTTI GGK

OCCASIONI

Caratterizzazione Superficiale / Misure di spessore, profili, rugosità, stress, nanoindentazione / KLA-Tencor - Profilometri a stilo ed interferometrici

Profilometro serie P17


Il nuovo profilometro P17 della KLA-Tencor rappresenta l’ottava generazione di profilometri della serie P ed è il punto di arrivo di 35 anni di sviluppo tecnologico continuo.

Il sistema offre un tavolino portacampioni programmabile, un sensore a bassissimo rumore, scansioni ad alta risoluzione fino a 200 mm senza stitching.

Il sensore UltraLite® utilizzato include il controllo dinamico della forza, eccellente linearità e la più alta risoluzione verticale disponibile sul mercato.

L’esperienza d’uso del P17 è particolarmente agevole grazie all’utilizzo di due camere CCD di visualizzazione del campione ed il tavolino portacampioni interamente motorizzato nonché la funzione “Point&Click” per lo spostamento facilitato al punto di misura.

Tra le principali applicazioni dello strumento vi sono:

  • Misura di film sottili
  • Misura di fotoresist e film soffici
  • Misura di trench
  • Caratterizzazione di rugosità e planaritò
  • Misura dello stress in 2D
  • Analisi dimensionale
  • Ricostruzione topografica 3D
  • Revisione di difettosità