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PRODOTTI GGK

OCCASIONI

Strumentazione e controllo di Processo / Analisi gas / MKS Instruments - Analisi dei gas con spettrometria di massa

Soluzioni per la spettrometria di massa


Monitoraggio del processo in-situ RGA in-situ, ricerca dell perdite ed analisi

Gli analizzatori di gas MKS di spettrometria di massa sono strumenti innovativi di monitoraggio durante i processi in situ, sono pacchetti specifici completamente integrati, inclusi gli analizzatori di gas residui (RGA), WEB-enabled RGA, apparecchiature analitiche e RGA di processo e software di controllo.

Applicazioni:

  • Monitoraggio del vuoto e e-diagnostica
  • Vacuum Ultra High (UHV)
  • Processi CVD
  • Vacuum Baseline RGA
  • Ion Implant
  • Detezione fotoresist
  • RGA ad Alta Pressione
  • PVD
  • Etching
  • Diffusione
  • Monitoraggio delle camere di trasferimento
  • Rilevamento delle perdite
  • Analisi del gas a pressione atmosferica

 

Per maggiori informazioni fate riferimanto al sito MKS Instruments