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PRODOTTI GGK

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Sistemi di processo / Sistemi di attacco e deposizione in vuoto / TEMESCAL - Evaporatori sottovuoto per R&D e produzione

Temescal FC-4400

Sistema di produzione ad elevato trougthput che consente di processare fino a trenta wafer da 150  mm di diametro.

Per avere veloci cicli di pompaggio, è possibile installare due pompe criogeniche sul load lock, che consentono di raggiungere il vuoto di processo in soli 15 minuti.