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PRODOTTI GGK

OCCASIONI

Sistemi di processo / Reattori al plasma / GAMBETTI - Prodotti Gambetti per la modifica delle superfici

HERON 80 - Barrell Etcher


Il sistema a plasma Heron 80 è un reattore in configurazione con elettrodi a doppia gabbia al cui interno avvengono processi di etching principalmente chimici e isotropici. Il plasma generato (usando una fonte RF) dà luogo alla creazione di ioni reattivi.

Il sistema Heron 80 è completamente automatizzato per mezzo di un PLC che controlla costantemente lo stato dei sensori, delle valvole, dei flussi, del segnale RF e del sistema di pompaggio. L´unica movimentazione manuale da effettuare è la fase di carico/scarico dei campioni.

Questo sistema è ideale per R&D o per produzione a basso e medio volume, inoltre è stato progettato per effettuare processi su substrati in diversi materiali come ad esempio metallo, plastica, ceramica o carta.

Caratteristiche del prodotto

  • Bassi costi di gestione
  • Eccellente controllo di processo
  • Sistema di gestione e controllo del sistema basato su display touch screen e interfaccia utente
  • grafica in grado di fornire in tempo reale tutte le informazioni di processo
  • Architettura flessibile che consente il trattamento di una vasta gamma di parti, componenti o carriers
  • Generatore RF a 13,56 MHz con rete di adattamento automatica che garantisce un´eccellente ripetibilità di processo
  • Strumento di diagnostica dei guasti e dello stato della macchina tramite software che consente una rapida analisi.
  • Datalogging con una frequenza <0,5 Hz che offre lo storico delle condizioni della camera e del processo
  • Facilità di accesso ai componenti chiave del sistema