Metallizzatore e carbonatore BT150 & BT300

Descrizione

I nuovi metalizzatori HHV BT150 e BT300 sono sistemi di deposizione da banco compatti ed economici progettati per soddisfare le esigenze di nella microscopia elettronica e dei ricercatori.

Entrambi i sistemi sono progettati per la massima facilità d’uso e dispongono di un sistema di controllo touch-screen a colori, guidato da menu per un controllo completamente automatico. Il sistema di controllo può memorizzare fino a 30 diverse ricette di processo di facile utilizzo, e può trasmettere i dati di processo a un dispositivo esterno per l’archiviazione. Oltre alle applicazioni EM, le serie BT possono anche essere configurate per lo sputtering dei metalli e l’evaporazione dei metalli per i ricercatori.

I sistemi possono sputterare metalli non nobili come l’alluminio o il cromo in cui è installata l’opzione della pompa turbo.

BT150 ha funzionalità complete per la preparazione dei campioni per EM, possono essere configurati con diverse tipologie di pompe per vuoto ed accessori di processo per soddisfare le esigenze degli utenti nei laboratori EM.

Le opzioni includono:

Sorgente di sputtering di metalli per la preparazione di campioni SEM.
Stadio di polarizzazione raffreddato ad acqua per etch di campioni SEM
Sorgente di evaporazione a resistenza per preparazione di campioni o applicazioni di ricerca
Sorgente con fibra di carbonio per preparazione del campione TEM ‘a basso vuoto’
Sorgente con barrette in carbonio per preparazione campione TEM ‘alto vuoto’
Accessorio per glow discharge per la modifica di film di carbonio nelle applicazioni TEM
Sistema integrato di misurazione e controllo dello spessore del film per prestazioni ripetibili di tipo run to run

La serie BT150 è fornita con una sorgente shutter integrata.

Lo stage porta campioni includono un supporto per stub SEM statico con raffreddamento ad acqua e mordenzatura, oltre a opzioni per la rotazione e l’inclinazione. Uno stage planetario con angolo di inclinazione regolabile assicura che i campioni rientranti siano rivestiti su tutta la loro superficie.

BT150 per la ricerca:

Il versatile BT150 può essere utilizzato anche nelle applicazioni di ricerca. La versione turbo-pompata può sputterare metalli nobili e non nobili e il sistema è offerto con uno stadio rotante di diametro 100 mm per la posizione dei campioni.

Una sorgenti termica a resistenza opzionale consente il rivestimento di una vasta gamma di materiali su piccoli campioni. I coater per la ricerca T150 possono essere richiesti con il sistema di controllo dello spessore del film integrato.

BT300 per la ricerca:

Il coater per la ricerca BT300 è appositamente progettato per la deposizione di metalli su campioni più grandi. Il sistema viene offerto con due sorgent per la deposizione sequenziale di due metalli o con tre testine per lo sputtering di un singolo metallo su un substrato fino a un diametro di 200 mm.

Doppie sorgenti di sputter DC per deposizione sequenziale su campioni con diametro fino a 100 mm
Sorgenti di sputter per triplo DC per deposizione di metalli su campioni con diametro fino a 200 mm
Planetario del substrato rotante con diametro di 100 mm; stadi planetari con diametro di 150 mm e 200 mm
Scelta tra diversi sistemi di pompaggio come pompa rotativa, pompa a secco e sistemi di pompaggio con turbo
Tutti i sistemi della serie BT300 sono dotati di shutter della sorgente integrato standard.

Sistema di monitoraggio dello spessore del film integrato

I metalizzatori della serie BT includono l’opzione di un sistema di monitoraggio dello spessore del film completamente integrato. Il sistema è integrato nel controller touch-screen e fornisce il controllo dello spessore dei film deposti. BT150 utilizza una singola testina di misurazione del cristallo di quarzo. Il sistema dual-sputter BT300 utilizza due testine per la precisione.

BT150 e BT300 sono marchiati CE. La certificazione UL può essere fornita.

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