HERON 80 plasma barrel etcher

Descrizione

Heron 80 è un plasma in configurazione con elettrodi a doppia gabbia al cui interno avvengono processi di etching principalmente chimici e isotropici. Il plasma generato (usando una fonte RF) dà luogo alla creazione di ioni reattivi.

Il sistema Heron 80 è completamente automatizzato per mezzo di un PLC che controlla costantemente lo stato dei sensori, delle valvole, dei flussi, del segnale RF e del sistema di pompaggio. L’unica movimentazione manuale da effettuare è la fase di carico/scarico dei campioni.

Questo sistema è ideale per R&D o per produzione a basso e medio volume, inoltre è stato progettato per effettuare processi su substrati in diversi materiali come ad esempio metallo, plastica, ceramica o carta.

Fra i vari trattamenti attuabili, i più significativi sono:

Semiconduttori

• Rimozione del photoresist (stripping) e dei residui dello stesso (descumming), polimero fotosensibile utilizzato nei processi fotolitografici di mascheratura.
• Incenerimento organico, rimozione isotropica di polimeri organici (es. Poliammidi, ecc) e Ossidi/Nitruri di Silicio.
• Pulizie o modifiche superficiali prima del wire bonding (sia dei bond pads sia dei chip carriers).
• Etching isotropico
• applicazioni di reverse engineering (rimozione dei passivanti, decapsulamento e delineamento di cross sections)

Solare (PV)

• Rimozione isotropica di nitruro di silicio per isolamento dei bordi cella.
• Rimozione isotropica di silicio amorfo o cristallino.
• Possibilità di processare singole celle o lotti
• Testurizzazione superficiale del silicio (mono e multi cristallino) per ridurre la riflettività e aumentare l’efficienza della cella.

Industria tessile

• Pulizia e modifiche superficiali, delle fibre naturali e sintetiche, atte ad aumentare l’idrofilia dei tessuti prima della colorazione o stampa;

Bio-Medicale

Decontaminazione con plasma freddo e modifiche superficiali per l’ottenimento di superfici idrofiliche o idrofobiche, utilizzabili per esempio nei seguenti campi applicativi:

• Impianti protesici in titanio o acciaio (decontaminazione con argon, azoto, ossigeno e miscele) per la rimozione di strati organici ed il relativo aumento della bagnabilità per una più veloce osteointegrazione
• Filtrazione selettiva di fluidi biologici
• Impianti protesici (aumento della bagnabilità per una più veloce osteointegrazione)
• Incollaggi tra materiali diversi (aghi su siringhe, cateteri, ecc.)
• Ultrapulizia finale e rimozioni dei residui organici a livello atomico
• Lenti a contatto e intraoculari
• Stent cardiovascolari per rilascio controllato del farmaco
• Pulizia finale dei vials per liquidi
• Sterilizzazione su materiali termosensibili

Industria della plastica

Pulizia e modifiche superficiali utilizzabili ad esempio nei seguenti campi applicativi:

• Incollaggio tra materie plastiche o di materie plastiche con altri materiali
• Attivazione prima della verniciatura, con eliminazione dell’uso di primers chimici
• Bagnabilità delle superfici per migliorare la qualità della stampa
• Rimozione di residui di distaccanti dopo lo stampaggio
• Rimozione di contaminanti e residui organici
• Fluorizzazione delle superfici per modifica delle caratteristiche funzionali

Meccanica di precisione

Pulizia finale a livello atomico di superfici metalliche e ceramiche dopo lavaggi industriali per migliorarne la verniciabilità o per altri tipi di rivestimenti (es. PVD).

Ottica e oftalmica

Pulizia finale a livello atomico e pre-trattamento dopo i lavaggi industriali per migliorare l’adesione di rivestimenti antiriflesso, antigraffio e simili; polimerizzazione di strati antigraffio e antiappannamento.