KLA – Profilometri a stilo, confocali ed interferometrici

Prodotti

Comparazione profilometri

Alpha Step Development SeriesProduction Series
Alpha-Step D-500Alpha-Step D-600Tencor P-7Tencor P-17
Sample, Stage and Optics Specifications
Scan Length30 mm55 mm150 mm205 mm
Sample Stage Diameter140 mm200 mm150 mm200 mm 300 mm optional
Stage Translation80 x 20 mm150 x 178 mm156 x 156 mm240 x 240 mm
Sample PositioningManualMotorisedMotorisedMotorised
Theta StageManualMotorisedManual or MotorisedMotorised
Sample Thickness20 mm30 mm55 mm55 mm
Field of View3.8 x 3.1 mm3.8 x 3.1 mm1.7 x 1.4 mm1.4 x 1.4 mm
Zoom4x digital4x digital4x digital4x optical
Sample ChucksUniversal Nickel-plated Flat black StressUniversal Nickel-plated StressUniversal 150 mm Universal 200 mm Solar StressUniversal 200 mm Disk Stress OF: 240 x 240 mm OF: 300 mm
Chuck VacuumUniversal chuck onlyStandardStandardStandard
Performance Specifications
Step Height Repeatability5 Å for 1 µm step5 Å for 1 µm step4 Å for 1 µm step4 Å for 1 µm step
Z Range1200 µm1200 µmStandard 327 µm Low force 131 µm Extended range 1000 µmStandard 327 µm Low force 131 µm Extended range 1000 µm
Vertical Resolution0.38 Å @ 2.5 µm0.38 Å @ 2.5 µm0.01 - 0.06 Å0.01 - 0.06 Å
Stylus Force0.03 - 15 mg0.03 - 15 mg0.5 - 50 mg (SR, XR) 0.03 mg (LF)0.5 - 50 mg (SR, XR) 0.03 mg (LF)
Profile Data Points400,000400,0001,000,0001,000,000
Software
3D Scan DataNot availableOptionalOptionalOptional
Automated SequencingNot availableYesYesYes
Pattern RecognitionNot availableNot availableOptionalOptional
Stress SoftwareYes Chuck optionalYes Chuck optional2D & 3D Optional2D & 3D Optional
Profile StitchingYesYes AutomatedYesYes
Auto Leveling & Step HeightYesYesYesYes
Filtering & RoughnessYesYesYesYes
Arc CorrectionYesYesYesYes
Computer OSWindows 10 64-bitWindows 10 64-bitWindows 10 64-bitWindows 10 64-bit

Partner

 

KLA è stata costituita nel maggio del 1997 e nasce dalla fusione di due società (KLA Instruments e Tencor Instruments) leader nel settore della strumentazione di caratterizzazione nell´industria dei semiconduttori. Con un fatturato complessivo di quasi 1 miliardo di dollari e più di 4800 dipendenti, KLA è in grado di offrire una ampia gamma di sistemi di controllo con una produttività senza eguali.

Fondata nel 1976 ed accreditata come azienda pionieristica nel proporre soluzioni ad alta produttività nel mercato dei semiconduttori, KLA, nel 1978, ha iniziato a realizzare sistemi di ispezione che hanno ridotto il tempo di verifica delle fotomaschere da 8 ore a 15 minuti. La società si è quotata in borsa nel 1980 ed ha ampliato molto velocemente la gamma di prodotti per il controllo dei wafers. Due anni più tardi la società è entrata anche nel settore della metrologia dei wafer con strumenti di misura ottici.

KLA ha poi continuato a sviluppare le sue lineee di prodotti, progettando un software di analisi per l´integrazione dei dati delle ispezioni e delle misure. E´ stata la prima società del settore ad offrire un servizio di consulenza tecnica per fornire al cliente soluzioni per il miglioramento della produttività attraverso i propri sistemi di ispezione. Al momento della fusione con Tencor, KLA aveva un fatturato di 695 milioni di dollari e 2500 impiegati in tutto il mondo.

Anche la Tencor fu fondata nel 1976 proponendo Alpha-Step, un profilometro per la caratterizzazione superficiale. Alpha-Step ha fornito un miglioramento significativo nella misura dello spessore dei film sottili che fino ad allora era considerato un parametro critico.

Nel 1984, la società ha introdotto il primo Surfscan basato sulla tecnologia a scansione laser, per la misura della contaminazione superficiale dei wafer, diventato ben presto uno standard nel mercato dei semiconduttori. Negli anni 90, Tencor ha ampliato la sua linea di prodotti inserendo sistemi per l´analisi dei difetti. Nel 1993 ha acquisito la società Prometrix, leader nella produzione di sistemi ottici per la misura dei film sottili. Al momento della fusione con KLA, Tencor aveva un fatturato di 403 milioni di dollari e 1400 impiegati in tutto il mondo.

La Gambetti Kenologia ha rappresentato la società Tencor sino alla fusione nel 1997 con KLA. Nel corso dell´anno KLA ha aperto in Italia un ufficio dedicato ai clienti del mercato dei semiconduttori mentre la Gambetti Kenologia, per quanto riguarda il mercato italiano, ha continuato a distribuire in esclusiva la linea di profilometria e caratterizzazione.

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