L’ evaporatore Temescal FC-4400 è un impianto dedicato alla produzione ad elevato trougthput che consente di processare fino a trenta wafer da 150 mm di diametro.
Per avere veloci cicli di pompaggio, è possibile installare due pompe criogeniche sul load lock, che consentono di raggiungere il vuoto di processo in soli 15 minuti.
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