Sistemi di processoSistemi di litografia Cannoni ionici ed elettronici Impianti industriali in vuoto Reattori al plasma Sistemi di attacco e deposizione in vuoto Sistemi e processi di coating speciali Caratterizzazione superficialeMicroscopia a forza atomica AFM Preparativa per la microscopia SEM Campioni di Calibrazione Analisi di Superficie e Chimica Misure di spessore, profili, rugosità, stress, resistività nanoindentazione Strumentazione controllo di processoAlimentatori RF e DC – Generatori di Ozono Analisi emissioni gas di scarico Analisi gas Componentistica da vuoto e fasce riscaldanti Misura e controllo vuoto, pressione e flussi Ricerca delle fughe Prodotti di consumoFluidi, Oli e Grassi per applicazioni speciali Target e materiale da Evaporazione Wafer e cristalli di silicio
Ottobre 7, 2022/da gambettiDalla progettazione alla topografia microstrutturata: una panoramica sulla litografia Maskless Grayscale”
Ottobre 2, 2022/da gambettiRegistrazione workshop: Milano 7-8 Novembre 2022 Advanced micro and nano-characterization of hybrid interfaces