50 anni di vuoto, plasma e superfici
Cinquant’anni accanto a chi fa ricerca e produzione.
Vuoto e ultravuoto, film sottili, micro e nanofabbricazione, analisi delle superfici. Supporto pre e post-vendita da Binasco (MI).
01
Sistemi di processo
Etching RIE/ICP/DRIE, ALD e ALE, PVD ed evaporazione, PECVD, litografia maskless, deposizione atomica localizzata.
Oxford Instruments · Polyteknik · Ferrotec Temescal · Heidelberg Instruments · I-Photonics · Neocera · PINK
02
Caratterizzazione superficiale
Profilometria, AFM, ellissometria, XPS, TOF-SIMS, diffrattometria, nanoindentazione, standard di calibrazione.
KLA · Filmetrics · Park Systems · Accurion · IONTOF · Thermo Scientific · STOE
03
Controllo di processo
Misura di pressione e flussi, analisi gas RGA e FTIR, sorgenti ioniche, cannoni elettronici, valvole e componenti per il vuoto.
MKS Instruments · KRI · Ihara Science · ph-instruments · SciencePro · IAG
04
Prodotti di consumo
Materiali e target per PVD, wafer da 1" a 8" in silicio, SOI, zaffiro e GaAs, fluidi Fomblin e Galden.
Solvay · rete di fornitori selezionati
05
Plasmi Gambetti
Sistemi al plasma freddo progettati e prodotti da noi: Colibri, Tucano e Falcon RIE+.
plasmi.eu ↗
