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Forge Nano – Soluzioni ALD scalabili

Athena ALD

ALD per oggetti 3D e materiali porosi per R&D

Partner

 

ForgeNano produce sistemi e processi di rivestimento estremamente uniformi a livello atomico ALD , con materiali avanzati, su polveri (Particles ALD), oggetti 3D e substrati piani quali (wafers, vetri, o altro) .
Attraverso una serie di sistemi ALD di propria progettazione e realizzazione, basati su propri brevetti innovativi, rendono ForgeNano il leader tecnologico nel settore dell’ingegneria delle superfici e dei nano rivestimenti, oltre a poter offrire un servizio conto terzi di rivestimenti ALD e PALD.
La gamma dei prodotti varia da sistemi per ricerca e sviluppo, facilmente scalabili a sistemi per produzione nel settore dei semiconduttori, displays e del trattamento di polveri con elevate quantità giornaliere.
Le polveri rivestite con la tecnica di Forgenano migliorano nettamente le loro caratteristiche e quelle dei prodotti o dei rivestimenti realizzati con le polveri stesse, in svariati settori industriali avanzati , quali , ad esempio : stampa 3D, produzione di batterie agli Ioni di Litio, catalisi , ecc.ecc.

I substrati piani o wafers trattabili nei sistemi ALD FN sono utilizzati ad esempio nella realizzazione di dispositivi MEMS, memorie DRAM, dispositivi RF, dispositivi di potenza, con possibilità di rivestimenti su strutture con rapporto di aspetto fino a 1000:1 e prestazioni nettamente superiori a rivestimenti realizzati con tecniche tradizionali quali CVD o PVD, ad esempio.

Cosa è il processo PALD


Cosa è il processo ALD

Alcuni partners/clienti mondiali, quali:

Volkswagen, LG Corporation, Mitsui Kinzoku, University of Maryland, Oakridge National Laboratory ,Argonne National Laboratory

MKS Instruments – Misura e Controllo della Pressione

Partner

 

Nome di indiscusso prestigio nella produzione di strumenti e di sottosistemi integrati per la misurazione, il controllo ed il monitoraggio di tutti i parametri critici nel settore dei semiconduttori e in tutti gli altri settori produttivi avanzati.

Alla storica e ben conosciuta linea di strumenti per il controllo e la misura delle pressioni e dei gas, MKS Instruments ha negli ultimi anni affiancato un vasta gamma di prodotti complementari per fornire ai clienti OEM o end user, nell´industria come nella ricerca, un pacchetto di soluzioni globali, dal prodotto finito ad un servizio globale di assistenza di elevata professionalità .

L´eccellente livello qualitativo dei prodotti e delle tecnologie MKS Instruments forniscono le infrastrutture ai processi produttivi.

MKS può offrire una risposta per le seguenti esigenze:

  • gestione dei flussi di gas in entrata ed uscita dalla camera di processo
  • misura e controllo della pressione dei gas nella camera di processo
  • analisi e monitoraggio della composizione del gas
  • analisi dello spessore del film depositato e del profilo dei dopanti
  • isolamento dell´ambiente di processo dall´ambiente esterno
  • creazione di gas reattivi per processi o pulizia delle camere
  • Facilitazione comunicazioni digitali tra i sensori e i sistemi di controllo
  • analisi e monitoraggio dei gas di scarico
  • taratura della strumentazione per assicurare la ripetibilità dei processi

MKS Instruments è leader riconosciuto in tutto il mondo per la precisione, la stabilità e la ripetibilità dei suoi prodotti, caratteristiche essenziali che permettono ad ogni cliente di replicare il processo su ogni impianto, in ogni azienda e in ogni paese. GGK ha iniziato il rapporto di collaborazione con MKS Instruments nel 1986. Questo rapporto di successo si è nel tempo consolidato permettendo di creare al nostro interno uno staff di vendita, di supporto applicativo e di assistenza di altissimo profilo.

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