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MKS Instruments – Analizzatori di gas ottici

Process Sense TFS

Process Sense™ TFS™ è un sensore di endpoint per la pulizia della camera di processo, migliore dekla tradizionale tecnica endpoint ad infrarossi NDIR

Precisive® TFS™

Precisive® TFS™ (Tunable Filter Spectroscopy) è un sistema di analisi di gas, liquidi e solidi.

MultiGas™ TFS™ Monitor

Il sistema di monitoraggio MultiGas ™ TFS ™ di tipo ottico per analisi a basso costo ma ad alte prestazioni

Partner

 

Nome di indiscusso prestigio nella produzione di strumenti e di sottosistemi integrati per la misurazione, il controllo ed il monitoraggio di tutti i parametri critici nel settore dei semiconduttori e in tutti gli altri settori produttivi avanzati.

Alla storica e ben conosciuta linea di strumenti per il controllo e la misura delle pressioni e dei gas, MKS Instruments ha negli ultimi anni affiancato un vasta gamma di prodotti complementari per fornire ai clienti OEM o end user, nell´industria come nella ricerca, un pacchetto di soluzioni globali, dal prodotto finito ad un servizio globale di assistenza di elevata professionalità .

L´eccellente livello qualitativo dei prodotti e delle tecnologie MKS Instruments forniscono le infrastrutture ai processi produttivi.

MKS può offrire una risposta per le seguenti esigenze:

  • gestione dei flussi di gas in entrata ed uscita dalla camera di processo
  • misura e controllo della pressione dei gas nella camera di processo
  • analisi e monitoraggio della composizione del gas
  • analisi dello spessore del film depositato e del profilo dei dopanti
  • isolamento dell´ambiente di processo dall´ambiente esterno
  • creazione di gas reattivi per processi o pulizia delle camere
  • Facilitazione comunicazioni digitali tra i sensori e i sistemi di controllo
  • analisi e monitoraggio dei gas di scarico
  • taratura della strumentazione per assicurare la ripetibilità dei processi

MKS Instruments è leader riconosciuto in tutto il mondo per la precisione, la stabilità e la ripetibilità dei suoi prodotti, caratteristiche essenziali che permettono ad ogni cliente di replicare il processo su ogni impianto, in ogni azienda e in ogni paese. GGK ha iniziato il rapporto di collaborazione con MKS Instruments nel 1986. Questo rapporto di successo si è nel tempo consolidato permettendo di creare al nostro interno uno staff di vendita, di supporto applicativo e di assistenza di altissimo profilo.

www


MKS Instruments – Analisi dei gas con spettrometria di massa

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Nome di indiscusso prestigio nella produzione di strumenti e di sottosistemi integrati per la misurazione, il controllo ed il monitoraggio di tutti i parametri critici nel settore dei semiconduttori e in tutti gli altri settori produttivi avanzati.

Alla storica e ben conosciuta linea di strumenti per il controllo e la misura delle pressioni e dei gas, MKS Instruments ha negli ultimi anni affiancato un vasta gamma di prodotti complementari per fornire ai clienti OEM o end user, nell´industria come nella ricerca, un pacchetto di soluzioni globali, dal prodotto finito ad un servizio globale di assistenza di elevata professionalità .

L´eccellente livello qualitativo dei prodotti e delle tecnologie MKS Instruments forniscono le infrastrutture ai processi produttivi.

MKS può offrire una risposta per le seguenti esigenze:

  • gestione dei flussi di gas in entrata ed uscita dalla camera di processo
  • misura e controllo della pressione dei gas nella camera di processo
  • analisi e monitoraggio della composizione del gas
  • analisi dello spessore del film depositato e del profilo dei dopanti
  • isolamento dell´ambiente di processo dall´ambiente esterno
  • creazione di gas reattivi per processi o pulizia delle camere
  • Facilitazione comunicazioni digitali tra i sensori e i sistemi di controllo
  • analisi e monitoraggio dei gas di scarico
  • taratura della strumentazione per assicurare la ripetibilità dei processi

MKS Instruments è leader riconosciuto in tutto il mondo per la precisione, la stabilità e la ripetibilità dei suoi prodotti, caratteristiche essenziali che permettono ad ogni cliente di replicare il processo su ogni impianto, in ogni azienda e in ogni paese. GGK ha iniziato il rapporto di collaborazione con MKS Instruments nel 1986. Questo rapporto di successo si è nel tempo consolidato permettendo di creare al nostro interno uno staff di vendita, di supporto applicativo e di assistenza di altissimo profilo.

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