Process Sense TFS
Process Sense™ TFS™ è un sensore di endpoint per la pulizia della camera di processo, migliore dekla tradizionale tecnica endpoint ad infrarossi NDIR
Precisive® TFS™
Precisive® TFS™ (Tunable Filter Spectroscopy) è un sistema di analisi di gas, liquidi e solidi.
MultiGas™ TFS™ Monitor
Il sistema di monitoraggio MultiGas ™ TFS ™ di tipo ottico per analisi a basso costo ma ad alte prestazioni
Strumentazione di analisi dei gas FTIR
Strumentazione per l´analisi dei gas in tempo reale ed in line con una sensibilità di rivelamento che varia dal ppm e il ppb
Partner
Nome di indiscusso prestigio nella produzione di strumenti e di sottosistemi integrati per la misurazione, il controllo ed il monitoraggio di tutti i parametri critici nel settore dei semiconduttori e in tutti gli altri settori produttivi avanzati.
Alla storica e ben conosciuta linea di strumenti per il controllo e la misura delle pressioni e dei gas, MKS Instruments ha negli ultimi anni affiancato un vasta gamma di prodotti complementari per fornire ai clienti OEM o end user, nell´industria come nella ricerca, un pacchetto di soluzioni globali, dal prodotto finito ad un servizio globale di assistenza di elevata professionalità .
L´eccellente livello qualitativo dei prodotti e delle tecnologie MKS Instruments forniscono le infrastrutture ai processi produttivi.
MKS può offrire una risposta per le seguenti esigenze:
- gestione dei flussi di gas in entrata ed uscita dalla camera di processo
- misura e controllo della pressione dei gas nella camera di processo
- analisi e monitoraggio della composizione del gas
- analisi dello spessore del film depositato e del profilo dei dopanti
- isolamento dell´ambiente di processo dall´ambiente esterno
- creazione di gas reattivi per processi o pulizia delle camere
- Facilitazione comunicazioni digitali tra i sensori e i sistemi di controllo
- analisi e monitoraggio dei gas di scarico
- taratura della strumentazione per assicurare la ripetibilità dei processi
MKS Instruments è leader riconosciuto in tutto il mondo per la precisione, la stabilità e la ripetibilità dei suoi prodotti, caratteristiche essenziali che permettono ad ogni cliente di replicare il processo su ogni impianto, in ogni azienda e in ogni paese. GGK ha iniziato il rapporto di collaborazione con MKS Instruments nel 1986. Questo rapporto di successo si è nel tempo consolidato permettendo di creare al nostro interno uno staff di vendita, di supporto applicativo e di assistenza di altissimo profilo.
www
Analizzatori di gas residui (RGA)
Analizzatore MicroVision 2 per RGA
Monitoraggio gas di processo RGA
Analizzatori per l'analisi RGA nei processi per film sottili
Analizzatore di gas a pressione atmosferica - Cirrus™3
Spettrometri di massa a singolo quadrupolo Cirrus ™
Soluzioni per la spettrometria di massa
Monitoraggio del processo in-situ RGA, ricerca delle perdite ed analisi
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Nome di indiscusso prestigio nella produzione di strumenti e di sottosistemi integrati per la misurazione, il controllo ed il monitoraggio di tutti i parametri critici nel settore dei semiconduttori e in tutti gli altri settori produttivi avanzati.
Alla storica e ben conosciuta linea di strumenti per il controllo e la misura delle pressioni e dei gas, MKS Instruments ha negli ultimi anni affiancato un vasta gamma di prodotti complementari per fornire ai clienti OEM o end user, nell´industria come nella ricerca, un pacchetto di soluzioni globali, dal prodotto finito ad un servizio globale di assistenza di elevata professionalità .
L´eccellente livello qualitativo dei prodotti e delle tecnologie MKS Instruments forniscono le infrastrutture ai processi produttivi.
MKS può offrire una risposta per le seguenti esigenze:
- gestione dei flussi di gas in entrata ed uscita dalla camera di processo
- misura e controllo della pressione dei gas nella camera di processo
- analisi e monitoraggio della composizione del gas
- analisi dello spessore del film depositato e del profilo dei dopanti
- isolamento dell´ambiente di processo dall´ambiente esterno
- creazione di gas reattivi per processi o pulizia delle camere
- Facilitazione comunicazioni digitali tra i sensori e i sistemi di controllo
- analisi e monitoraggio dei gas di scarico
- taratura della strumentazione per assicurare la ripetibilità dei processi
MKS Instruments è leader riconosciuto in tutto il mondo per la precisione, la stabilità e la ripetibilità dei suoi prodotti, caratteristiche essenziali che permettono ad ogni cliente di replicare il processo su ogni impianto, in ogni azienda e in ogni paese. GGK ha iniziato il rapporto di collaborazione con MKS Instruments nel 1986. Questo rapporto di successo si è nel tempo consolidato permettendo di creare al nostro interno uno staff di vendita, di supporto applicativo e di assistenza di altissimo profilo.
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MultiPhoton Optics
Park Systems