Microscopio a forza atomica NX-Hivac

Descrizione

Microscopio a forza atomica Park NX-Hivac opera in alto vuoto perchè è stato sviluppato per l’analisi dei difetti (failure analysis), e nel settore della ricerca dei materiali e delle superfici sensibili all´esposizione in atmosfera.

NX-Hivac consente agli ingegneri nel settore dell’analisi dei difetti di migliorare in modo particolare,la sensibilità e la ripetibilità delle loro misure AFM, grazie all’utilizzo dello strumento in alto vuoto, ugualmente di evitare di avere l’esposizione in un’ambiente di misura contenete contaminanti come l’ossigeno, prodotti organici ed altri agenti presenti nell’atmosfera.
Un’applicazione peculiare è la misura della concentrazione di drogante tramite Scanning Spreading Resistance Microscopy (SSRM).

Caratteristiche

• Sistema di gestione del vuoto completamente automatizzato
• Automazione del sistema di tipo avanzato, per la messima produttività
• Sistema di scansione StepScan per analisi su più punti del campione in modo automatico
• Sistema di allineamento del laser di tipo motorizzato
• Scanner in XY e Z di tipo closed loop
• Posizionamento in XYZ a basso rumore con meno dello 0,15% di offset
• Elettronica a 24 bit

Specifiche

Scanner: Scanner XY: 50 μm × 50 μm (100 μm x 100 μm opzionale) Z scanner: 15 μm
Ottica: Obiettivo 10 × 5M pixel CCD
Porta campioni: movimentazione XY: 22 mm x 22 mm
Dimensione del campione: 50 millimetri x 50 millimetri, fino a 20 millimetri di spessore

Dimensioni
Camera vuoto: 300 mm x 420 mm x 320 mm (dimensioni interne)
Dimensioni esterne: (incluso granito e pompa): 800 mm x 950 mm x 730 mm

Software
SmartScan: software operativo propietario
XEI: AFM software di analisi dei dati
HIVAC Manager: software di controllo automatico del vuoto

Alto vuoto
Livello di vuoto: tipicamente meno di 1 x 10-5 torr
Velocità di pompaggio: raggiunge 10-5 torr in 5 min.

Elettronica
ADC: 18 canali
4 canali ADC ad alta velocità (50 MSPS)
ADC a 24 bit per sensore di posizione X, Y e Z
DAC: 12 canali
2 canali DAC ad alta velocità (50 MSPS)
DAC a 20 bit per il posizionamento di X, Y e Z
3 canali con amplificatore integrato Lock-in

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