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MKS Instruments – Mass Flow Controller

Controllori e misuratori di flusso massici per alte portate

MKS offre controllori di portata massica con elastomero e metallo di tenuta per portate fino a 1000 slm. Sono disponibili anche versioni per operare in condizioni ambientali  critiche dove è richiesta protezione da acqua e polvere.

Caratteristiche:

  • Tenute con elastomero e metallo MFC / MFM
  • Portate da 50 a 1000 slm
  • Multi-scala / multi-gas; 1% della precisione del punto di riferimento
  • I / O digitale e analogico
Informazioni su MFC alte portate
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