Piattaforma MERIDIAN I-Photonics:

L’Eccellenza nella Tecnologia PARMS

Sistema MERIDIAN I-Photonics: Rivestimenti Ottici di Precisione

La piattaforma MERIDIAN I-Photonics rappresenta una soluzione avanzata per la deposizione ad alta velocità di rivestimenti ottici. Basato sulla tecnologia PARMS (Plasma Assisted Reactive Magnetron Sputtering), il sistema garantisce film sottili di qualità eccellente con accuratezza elevata.

Progettato specificamente per filtri ottici, specchi laser e componenti di precisione, MERIDIAN integra inoltre controllo ottico automatico per processi completamente automatizzati.

Tecnologia PARMS Avanzata

Magnetron Sputtering Assistito da Plasma

La tecnologia PARMS combina sputtering magnetron reattivo con assistenza plasma. Di conseguenza, ottiene rivestimenti ottici con proprietà superiori e controllo preciso delle caratteristiche del film.

Vantaggi principali:

• Deposizione ultra-veloce fino a 6 Å/sec
• Uniformità coating <±0.2% su substrato
• Controllo composizione preciso per materiali reattivi
• Qualità superiore con densità ottimizzata

Design Innovativo Long-Throw

La configurazione innovativa include:

• Processamento senza particelle tramite long-throw
• Minimizzazione contaminazione con sputter-up
• Produttività elevata grazie a doppio magnetron AC
• Lunga durata delle sorgenti plasma RF

Caratteristiche Tecniche Principali

Controllo Processo Automatico

Il sistema di monitoraggio ottico OCP offre:

• Controllo real-time per ottimizzazione continua
• Automazione completa dei processi complessi
• Ripetibilità garantita per produzioni in serie

Inoltre, il porta-substrati planetario supporta:

• Capacità multipla: 10 x 200 mm substrati
• Flessibilità produttiva per diverse geometrie
• Uniformità eccellente della deposizione

Applicazioni Specializzate

Settori di Eccellenza

Prima di tutto, le telecomunicazioni ottiche beneficiano di filtri DWDM e isolatori ottici. Successivamente, i laser industriali utilizzano coating per alta potenza e applicazioni medicali. Infine, l’aerospace richiede ottica spaziale per missioni critiche.

Materiali Depositabili

Il sistema processa un range completo di materiali:

• Ta₂O₅: alto indice per filtri interferenziali
• SiO₂: basso indice per coating AR
• HfO₂: materiali avanzati per UV
• Al₂O₃: coating protettivi e dielettrici

Prestazioni e Specifiche

Parametri Operativi

Le prestazioni chiave includono:

• Velocità deposizione: fino a 6 Å/sec
• Uniformità coating: <±0.2% su substrato
• Temperatura processo: <250°C per substrati sensibili
• Pressione ultima: 8×10⁻⁴ Pa per ambiente ultra-pulito

Inoltre, la configurazione operativa garantisce:

• Setup rapido: 45 minuti per condizioni processo
• Footprint compatto: 3790×3560×2450 mm
• Sistema pompaggio: pompe dry mechanical + turbomolecolari

Vantaggi Competitivi

Produttività e Qualità

Il dual-magnetron assicura velocità massima di deposizione. Contemporaneamente, la configurazione sputter-up garantisce qualità superiore. Pertanto, i processi automatizzati riducono significativamente i tempi ciclo.

Il monitoraggio ottico continuo fornisce feedback real-time per correzioni automatiche. Di conseguenza, si ottiene uniformità eccellente e ripetibilità per produzioni commerciali.

Supporto Tecnico Completo

Il servizio include:

• Consulenza applicativa per configurazione ottimale
• Training specializzato su tecnologia PARMS
• Assistenza continuativa con manutenzione preventiva
• Remote diagnostics per supporto rapido

Configurazioni e Personalizzazione

La configurazione standard comprende sistema completo ready-to-operate con training incluso. Tuttavia, sono disponibili opzioni personalizzate per applicazioni uniche.

In particolare, le customizzazioni includono:

• Sorgenti aggiuntive per materiali speciali
• Sistemi handling personalizzati
• Integrazione con linee produzione esistenti

Conclusioni: Leadership Tecnologica

La piattaforma MERIDIAN I-Photonics rappresenta la soluzione più avanzata per coating ottici di precisione. Grazie alla tecnologia PARMS con uniformità ±0.2% e velocità fino a 6 Å/sec, il sistema risulta essenziale per:

• Produttori di filtri ottici che richiedono precisione estrema
• Industrie telecomunicazioni per componenti fiber optics
• Sistemi laser con requirements prestazioni critiche
• Strumentazione scientifica per coating specializzati

Infine, l’investimento in MERIDIAN rappresenta una scelta strategica per l’eccellenza nella produzione di rivestimenti ottici industriali.