
Controllo Vacuum Avanzato con Posizione Intermedia
Le 3rd position gate valve di Science Probe rappresentano una soluzione innovativa per applicazioni vacuum che richiedono controllo preciso del flusso e transizioni graduate. Progettate specificamente per processi demanding come etching e CVD, queste valvole offrono una terza posizione intermedia oltre alle classiche aperta e chiusa.
Inoltre, Science Probe integra tecnologia pneumatica avanzata per controllo pressure precision in sistemi automatizzati.
Tecnologia Three-Position Avanzata
Meccanismo a Tre Posizioni
Le 3rd position gate valve utilizzano un sistema pneumatico doppio che permette tre posizioni distinte: completamente aperta, completamente chiusa e posizione intermedia regolabile. Di conseguenza, offrono controllo flow precision per applicazioni che richiedono pressure control sofisticato.
Posizioni operative:
- Completamente aperta: massima conduttanza per high vacuum
- Completamente chiusa: isolamento totale chambers
- Posizione intermedia: controllo flusso graduato regolabile
- Standby function: transizioni smooth senza pressure peaks
Sistema Controllo Pneumatico
Il meccanismo prevede:
- Due solenoidi pneumatici per controllo posizioni
- Air pressure regulator per regolazione terza posizione
- Position indicators per monitoring operativo
- 9-pin D-Sub connection per valve status verification
Pertanto, garantiscono precision control con automazione completa.
Applicazioni Specializzate
Processi High-Tech
Le 3rd position valve risultano ideali per:
- Etching processes con controllo pressure critico
- CVD applications per deposizione controlled atmosphere
- Sputtering systems con mass flow controllers upstream
- Thin-film coating per precision process control
Inoltre, supportano transizioni smooth da rough vacuum a high vacuum senza shock termici.
Pressure Control Applications
Per controllo pressione avanzato:
- Research laboratories con experimental setups
- Semiconductor fabs per process optimization
- Analytical instruments con gas flow precision
- Quality control per repeatable processes
Vantaggi Operativi
Controllo Flow Precision
I benefici includono:
- Pressure peaks elimination durante apertura/chiusura
- Smooth transitions tra operating pressures
- Flow rate control senza separate throttle valves
- Process optimization per better yields
Versatilità Controllo
Science Probe offre:
- Adjustable third position per specific requirements
- Combination pneumatic/manual per flexibility operativa
- Multiple flange options (NW, JIS, ICF, ISO, ASA)
- Integration support con existing automation systems
Di conseguenza, si adattano perfettamente a diverse process requirements.
Configurazioni Tecniche
Attuazione e Controllo
Le opzioni includono:
- Pneumatic actuation per automazione completa
- Manual override per emergency operations
- Electrical position feedback per system integration
- Solenoid configurations per different voltages
Flangie e Dimensioni
Science Probe supporta:
- Standard flanges: NW/KF, ISO-F, CF, JIS, ASA
- Size range: multiple diameters per diverse portate
- Custom configurations per specific installations
- Mounting orientations per space constraints
Inoltre, compatibility con existing vacuum systems è guaranteed.
Settori di Eccellenza
Semiconductor Manufacturing
Per produzione semiconduttori:
- Wafer processing con controlled atmospheres
- Ion implantation per precision doping
- Chamber isolation durante maintenance procedures
- Process gas delivery con flow control accuracy
Research e Development
Per applications scientifiche:
- University labs con custom experimental setups
- Government research per advanced materials
- Private R&D per process development
- International collaborations per large-scale projects
Integrazione Sistema
Automation Compatibility
Le valvole supportano:
- PLC integration per automated sequences
- SCADA systems per remote monitoring
- Mass flow controllers per upstream control
- Process computers per data logging
Safety Features
I sistemi sicurezza includono:
- Fail-safe positions durante power loss
- Position verification per operational safety
- Overpressure protection per equipment safety
- Emergency stop per emergency procedures
Pertanto, assicurano operational safety con maximum reliability.
Conclusioni
Le 3rd position gate valve di Science Probe rappresentano la soluzione advanced per applicazioni vacuum che richiedono controllo flow precision e pressure management sofisticato. Grazie alla terza posizione regolabile e sistema pneumatico doppio, queste valvole garantiscono performance optimal per etching, CVD e thin-film processes.
L’investimento in Science Probe assicura technology cutting-edge per superior process control e automation excellence.