Controllo Vacuum Avanzato con Posizione Intermedia
Le 3rd position gate valve di Science Probe rappresentano una soluzione innovativa per applicazioni vacuum che richiedono controllo preciso del flusso e transizioni graduate. Progettate specificamente per processi demanding come etching e CVD, queste valvole offrono una terza posizione intermedia oltre alle classiche aperta e chiusa.
Inoltre, Science Probe integra tecnologia pneumatica avanzata per controllo pressure precision in sistemi automatizzati.
Tecnologia Three-Position Avanzata
Meccanismo a Tre Posizioni
Le 3rd position gate valve utilizzano un sistema pneumatico doppio che permette tre posizioni distinte: completamente aperta, completamente chiusa e posizione intermedia regolabile. Di conseguenza, offrono controllo flow precision per applicazioni che richiedono pressure control sofisticato.
Posizioni operative:
Completamente aperta: massima conduttanza per high vacuum
Completamente chiusa: isolamento totale chambers
Posizione intermedia: controllo flusso graduato regolabile
Standby function: transizioni smooth senza pressure peaks
Sistema Controllo Pneumatico
Il meccanismo prevede:
Due solenoidi pneumatici per controllo posizioni
Air pressure regulator per regolazione terza posizione
Position indicators per monitoring operativo
9-pin D-Sub connection per valve status verification
Pertanto, garantiscono precision control con automazione completa.
Applicazioni Specializzate
Processi High-Tech
Le 3rd position valve risultano ideali per:
Etching processes con controllo pressure critico
CVD applications per deposizione controlled atmosphere
Sputtering systems con mass flow controllers upstream
Thin-film coating per precision process control
Inoltre, supportano transizioni smooth da rough vacuum a high vacuum senza shock termici.
Pressure Control Applications
Per controllo pressione avanzato:
Research laboratories con experimental setups
Semiconductor fabs per process optimization
Analytical instruments con gas flow precision
Quality control per repeatable processes
Vantaggi Operativi
Controllo Flow Precision
I benefici includono:
Pressure peaks elimination durante apertura/chiusura
Smooth transitions tra operating pressures
Flow rate control senza separate throttle valves
Process optimization per better yields
Versatilità Controllo
Science Probe offre:
Adjustable third position per specific requirements
Combination pneumatic/manual per flexibility operativa
Multiple flange options (NW, JIS, ICF, ISO, ASA)
Integration support con existing automation systems
Di conseguenza, si adattano perfettamente a diverse process requirements.
Configurazioni Tecniche
Attuazione e Controllo
Le opzioni includono:
Pneumatic actuation per automazione completa
Manual override per emergency operations
Electrical position feedback per system integration
Solenoid configurations per different voltages
Flangie e Dimensioni
Science Probe supporta:
Standard flanges: NW/KF, ISO-F, CF, JIS, ASA
Size range: multiple diameters per diverse portate
Custom configurations per specific installations
Mounting orientations per space constraints
Inoltre, compatibility con existing vacuum systems è guaranteed.
Settori di Eccellenza
Semiconductor Manufacturing
Per produzione semiconduttori:
Wafer processing con controlled atmospheres
Ion implantation per precision doping
Chamber isolation durante maintenance procedures
Process gas delivery con flow control accuracy
Research e Development
Per applications scientifiche:
University labs con custom experimental setups
Government research per advanced materials
Private R&D per process development
International collaborations per large-scale projects
Integrazione Sistema
Automation Compatibility
Le valvole supportano:
PLC integration per automated sequences
SCADA systems per remote monitoring
Mass flow controllers per upstream control
Process computers per data logging
Safety Features
I sistemi sicurezza includono:
Fail-safe positions durante power loss
Position verification per operational safety
Overpressure protection per equipment safety
Emergency stop per emergency procedures
Pertanto, assicurano operational safety con maximum reliability.
Conclusioni
Le 3rd position gate valve di Science Probe rappresentano la soluzione advanced per applicazioni vacuum che richiedono controllo flow precision e pressure management sofisticato. Grazie alla terza posizione regolabile e sistema pneumatico doppio, queste valvole garantiscono performance optimal per etching, CVD e thin-film processes.
L’investimento in Science Probe assicura technology cutting-edge per superior process control e automation excellence.
Valvole gate schermate