DosiTorr PH Instruments

SRG Transducer Vacuum Pressure Gauge

dositorr srg

DosiTorr di PH Instruments rappresenta una rivoluzione nella misura della pressione del vuoto industriale. È il primo trasduttore Spinning Rotor Gauge (SRG) completamente autonomo, progettato per l’integrazione diretta nei sistemi di produzione. Questa tecnologia innovativa offre precisione eccezionale e stabilità a lungo termine, eliminando gli svantaggi che hanno limitato l’adozione della tecnologia SRG nel passato.

Principio di Funzionamento

Tecnologia Spinning Rotor Gauge Avanzata

DosiTorr utilizza una sfera d’acciaio di precisione levitata magneticamente che ruota liberamente nel vuoto. La pressione viene determinata misurando la decelerazione della sfera causata dalle collisioni molecolari con il gas residuo. Questo principio fisico garantisce misurazioni estremamente accurate senza contatto fisico.

Caratteristiche Tecniche Principali

Sfera rotante: Acciaio inossidabile di precisione, diametro 4,5mm

Levitazione: Elettromagnetica per funzionamento senza contatto

Campo magnetico: 90 mT (doppio rispetto agli SRG precedenti)

Frequenza di rotazione: 615 Hz per sospensione stabile

Funzionamento autonomo: Controllo automatico della sfera in ogni condizione operativa

Prestazioni e Specifiche

Range di Misura e Precisione

Campo di misura: Da 7 Torr a 4 × 10⁻⁷ Torr (10 mbar a 5 × 10⁻⁷ mbar)

Zona ad alta precisione: ±1% della lettura tra 0,1 Torr e 7 × 10⁻⁷ Torr

Pressioni medie: ±10% della lettura da 7 Torr a 0,07 Torr

Stabilità a lungo termine: Deriva inferiore all’1% annuo

Tempo di risposta: 1 secondo in modalità rapida

Ciclo di misura: 3-30 secondi tipici

Vantaggi Competitivi

Misura Senza Contatto

Elimina usura e contaminazione, garantendo durata superiore e mantenimento delle prestazioni nel tempo.

Stabilità Eccezionale

Nessuna deriva di calibrazione grazie al principio fisico intrinsecamente stabile della tecnologia SRG.

Purezza del Processo

Non genera particelle, plasma o calore, mantenendo l’integrità dei processi più critici.

Indipendenza dal Gas

Misurazioni accurate indipendentemente dal tipo di gas, con compensazione automatica degli effetti di viscosità.

Connettività e Integrazione

Opzioni di Interfaccia

DosiTorr offre connettività completa per ogni esigenza di sistema:

USB Type-C: Connessione moderna plug-and-play

Bluetooth: Monitoraggio e controllo wireless

RS 232/RS 485: Standard di comunicazione industriale

Connettore ad alta densità 15-pin: Interfaccia analogica professionale

Uscite analogiche: 4-20mA, 0-10V standard

Funzionalità di Sistema

• Display digitale diretto della pressione
• Registrazione dati continua
• Accesso remoto via rete
• Supporto software completo per l’integrazione

Settori di Applicazione

Industria dei Semiconduttori

Controllo precisione nei processi di fabbricazione wafer, impianto ionico, deposizione CVD/PVD e controllo qualità per l’ottimizzazione della resa produttiva.

Ricerca e Metrologia

Standard di trasferimento per laboratori nazionali, strumento di riferimento per la calibrazione di altri misuratori del vuoto, e applicazioni di ricerca fondamentale che richiedono massima accuratezza.

Processi Industriali ad Alta Purezza

Monitoraggio di processi sensibili alla contaminazione, controllo qualità di precisione e ottimizzazione della produzione in ambienti industriali esigenti.

Strumentazione Analitica

Applicazioni di laboratorio che richiedono misurazioni stabili e accurate per analisi critiche e controlli di qualità.

Installazione e Manutenzione

Installazione Semplificata

• Montaggio orizzontale del tubo sensore
• Posizionamento della testina magnetica con livella integrata
• Collegamento tramite interfaccia preferita
• Calibrazione autonoma con pre-calibrazione di fabbrica

Manutenzione Minima

DosiTorr richiede interventi minimi grazie al design senza contatto: nessuna calibrazione di routine, nessuna sostituzione di componenti consumabili, e intervalli di manutenzione estesi. Questo si traduce in un costo totale di proprietà ridotto mantenendo l’integrità delle misurazioni.

Perché Scegliere DosiTorr

DosiTorr rappresenta il futuro della misura del vuoto industriale. Combinando la precisione della fisica con l’innovazione tecnologica, offre una soluzione che supera i limiti degli strumenti tradizionali. Per applicazioni critiche che richiedono affidabilità, precisione e stabilità nel tempo, DosiTorr è la scelta ideale per stabilire nuovi standard di qualità nei vostri processi.

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