Atlant3D – NanoFabricator Lite

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Panoramica

Il NANOFABRICATOR™ LITE è il sistema di punta di ATLANT 3D per la ricerca e sviluppo in ambito nanofabbricazione. Compatto, operativo a pressione ambiente e senza necessità di camera a vuoto dedicata, è progettato per integrarsi in laboratori universitari, cleanroom di RTOs e reparti R&D aziendali. La sua architettura open-frame e il software intuitivo lo rendono operativo in tempi brevi, abbattendo la barriera d’ingresso alla deposizione atomica avanzata.

Specifiche Tecniche

Parametro	Valore
Substrato massimo	4″ (wafer), spessore max 10 mm
Range di temperatura	50–300 °C
Velocità di scansione	Fino a 200 mm/s
Risoluzione verticale	0,1 nm (scala atomica)
Risoluzione ugello (standard)	350 µm (in sviluppo: 50 µm – 2 mm)
Precisione di allineamento	5 µm
Precursori supportati	2 bubbler precursori + 1 bubbler reagente + 1 reagente gassoso (espandibile)
Pressione operativa	Pressione ambiente
Caricamento substrato	Manuale
Multi-materiale	Sì — stack in singola sessione

Perché Scegliere il NANOFABRICATOR™ LITE

• Elimina la necessità di infrastrutture litografiche — nessuna maschera, nessuna camera a vuoto
• Riduce i tempi di prototipazione da mesi a settimane
• Consuma 10.000 volte meno precursori chimici rispetto all’ALD tradizionale
• Supporta deposizioni multi-materiale e profili compositivi graduali in un’unica sessione
• Footprint compatto, adatto a laboratori esistenti senza grandi adattamenti strutturali
• Compatibile con substrati standard da 4″ — integrazione semplice nei flussi di lavoro esistenti

Materiali Depositati — Libreria in Espansione

Il sistema supporta attualmente la deposizione certificata dei seguenti materiali, con la libreria in continua espansione grazie alla collaborazione con partner universitari:

• Ossido di zinco (ZnO) — velocità di crescita 0,35 Å/passata
• Platino (Pt) — qualità cristallina, 0,09 Å/passata
• Biossido di titanio (TiO₂) — per applicazioni ottiche
• Allumina (Al₂O₃) — dielettrico standard
• Precursori personalizzati su richiesta

Per Chi è Pensato

Il NANOFABRICATOR™ LITE è ideale per gruppi di ricerca che operano a livelli TRL 2–6, centri di ricerca con cleanroom e reparti R&D aziendali che necessitano di prototipazione rapida di dispositivi nanostrutturati. Il sistema è stato adottato da istituzioni accademiche europee e nordamericane per applicazioni in semiconduttori, sensori, MEMS, fotonica e dispositivi per l’energia.

Supporto e Distribuzione in Italia

Gambetti è il distributore ufficiale di ATLANT 3D in Italia. Offriamo supporto tecnico pre e post-vendita, sessioni di dimostrazione e la possibilità di organizzare chiamate dirette con il team tecnico di ATLANT 3D a Copenaghen. Contattaci per ricevere una proposta personalizzata o per pianificare una visita dimostrativa.