
Il sistema mappatura film sottili Filmetrics F50 misura campioni molto grandi. Questo strumento funziona con formati fino a 450mm di diametro. Inoltre, è veloce e preciso. Il sistema acquisisce 2 punti per secondo automaticamente.
Caratteristiche Principali dell’ F50
Il Filmetrics F50 offre tecnologie semplici ma potenti:
Stage R-Theta Automatico
- Diametro massimo: 450mm di campioni
- Movimento: Stage R-Theta motorizzato
- Velocità: 2 punti al secondo
- Durata: Milioni di misurazioni
Sistema di Misurazione
- Spettroscopia: Tecnologia riflettanza avanzata
- Materiali: Oltre 130 nel database
- Software: Semplice e intuitivo
- Alimentazione: Solo cavo USB
Cosa Misura il Sistema F50
Il sistema mappatura spessore automatica è perfetto per questi materiali:
Film Base
- SiO2: Ossidi di silicio
- Photoresist: Resine per circuiti
- SiNx: Nitruri di silicio
- Polimeri: Film plastici vari
Materiali Avanzati
- DLC: Carbonio tipo diamante
- Polyimide: Polimeri per schermi
- Polysilicon: Silicio per chip
- Silicio amorfo: Film per pannelli solari
Come Funziona la Mappatura
Il sistema film thickness mapping F50 è molto flessibile:
Tipi di Scansione
- Mappatura radiale: Usa il movimento R-Theta
- Mappatura concentrica: Cerchi a distanze diverse
- Mappatura personalizzata: Punti che scegli tu
- Mappatura lineare: Linee dritte sul campione
Controllo Automatico
- Mappatura veloce: 2 punti ogni secondo
- Risultati immediati: Vedi subito i dati
- Standard inclusi: Calibrazione automatica
- Export facile: Salva in formati comuni
Settori che Usano il F50
Semiconduttori
Il sistema mappatura film sottili F50 serve per:
- Photoresist: Controllo resine per chip
- Ossidi: SiO2, Si3N4, SOI
- Wafer sottili: Controllo spessore finale
- Depositi: Controllo strati epitassiali
Schermi LCD
Per l’industria display:
- Cell gap: Spazio tra vetri
- Polyimide: Strati di allineamento
- ITO: Elettrodi trasparenti
- Film ottici: Controllo uniformità
Rivestimenti
Per applicazioni ottiche:
- Hardcoat: Rivestimenti duri
- Antiriflesso: Coating multistrato
- Filtri: Controllo spessore preciso
- Lenti: Rivestimenti speciali
MEMS
Per micro-dispositivi:
- Photoresist: Controllo resine MEMS
- Membrane: Spessore critico
- Film sacrificali: Uniformità rilascio
- Strutture sottili: Controllo dimensioni
Perché Scegliere il F50
Formati Grandi
- 450mm: Il più grande disponibile
- Stage R-Theta: Perfetto per campioni rotondi
- Produzione: Adatto a volumi alti
- Affidabile: Milioni di misurazioni
Velocità Alta
- 2 punti/secondo: Mappatura rapidissima
- Tutto automatico: Setup e misura da soli
- Produttività: Ideale per fabbrica
- Efficiente: Riduce tempi controllo
Precisione Costante
- Spettroscopia: Tecnologia Filmetrics
- 130+ materiali: Database completo
- Calibrazione: Standard integrati
- Ripetibile: Risultati sempre uguali
Facile da Usare
- Software semplice: Interfaccia chiara
- USB: Solo un cavo per alimentare
- Setup veloce: Configurazione rapida
- Supporto: Assistenza 24h (L-V)
Confronto con Altri Sistemi
Differenze Principali
- F40: Microscopio, 1μm, manuale
- F54-XY: Stage XY, 300mm, wafer
- F50: Stage R-Theta, 450mm, grandi formati
- R50: Sheet resistance, non spessore
Quando Scegliere F50
- Campioni grandi: Display, automotive, solare
- Film non metallici: Polimeri, ossidi, nitruri
- Produzione: Volumi alti, velocità importante
- Uniformità: Mappatura completa necessaria
Materiali che Misura
Film Isolanti
- Ossidi: SiO2, Al2O3, HfO2
- Nitruri: Si3N4, AlN, TiN
- Carburi: SiC, DLC
- Fluoruri: MgF2, CaF2
Film Plastici
- Photoresist: Positivi e negativi
- Polyimide: Per display flessibili
- Parylene: Rivestimenti medicali
- PMMA: Plastica trasparente
Film Semiconduttori
- Silicio: Vari tipi non metallici
- Germanio: Ge e leghe SiGe
- Compound: GaAs, InP, GaN
- Organici: OLED e film elettronici
Servizi Gambetti
Come distributore Filmetrics/KLA, Gambetti offre:
Prima della Vendita
- Analisi: Verifica se F50 va bene
- Demo: Test con i tuoi campioni
- Confronto: F50 vs altri modelli
- Calcolo: Ritorno investimento
Dopo la Vendita
- Installazione: Setup completo
- Training: Formazione operatori
- Supporto: Assistenza 24h (L-V)
- Manutenzione: Contratti su misura
Servizi Extra
- Materiali nuovi: Sviluppo modelli
- Aggiornamenti: Software sempre nuovo
- Standard: Ricambi e accessori
- Corsi: Training avanzato
Come Si Integra
Compatibilità
- Formati: 450mm e più piccoli
- Software: Export universale
- Rete: Connessione internet
- Automazione: Compatible sistemi fab
Flusso di Lavoro
- Ricette: Parametri salvati
- Lotti: Campioni multipli
- Controllo: Limiti automatici
- Dati: Archiviazione sicura
Specifiche Tecniche
Sistema Ottico
- Spettrometro: Range visibile
- Luce: LED stabile
- Detector: Alta sensibilità
- Filtri: Per materiali diversi
Parte Meccanica
- Durata stage: Milioni di cicli
- Precisione: Posizione micrometrica
- Velocità: Ottimizzata per produzione
- Manutenzione: Molto poca