Controllori di flusso massico per applicazioni speciali

Descrizione

Alcuni gas e vapori presenti nelle camere di processi, richiedono regolatori di flusso di massa con un design speciale specifico per il materiale e le condizioni per poter operare correttamente e durare nel tempo.

MKS Instrument offre sia regolatori di flusso massico termico che controllori di portata massica basati sulla  pressione per quelle applicazioni che richiedono il controllo del flusso a temperature elevate e / o condizioni di bassa caduta di pressione,  dovute dalle caratteristiche intrinseche del materiale di partenza.