Generatori RF Potenza MKS Instruments:

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I generatori RF potenza MKS Instruments forniscono alimentazione solid-state affidabile per equipment thin film processing, rappresentando componenti vitali nei sistemi fabbricazione semiconduttori. La gamma completa include serie KEINOS, Spectrum, elite e Genesis ENI, combinati con reti impedance matching Matchwork® e sonde V/I per formare sistemi RF delivery completi ottimizzati per massima efficienza e controllo preciso.

Serie KEINOS: Tecnologia 2MHz Next-Generation

Dynamic Frequency Tuning Revolution

Il KEINOS 2MHz plasma generator rappresenta l’ultima innovazione nella suite prodotti MKS Power Solutions 2MHz. Incorpora tecnologie avanzate per applicazioni demanding di pulsing, cambiamenti impedenza veloci e process steps più brevi. KEINOS fornisce fino a 13kW potenza, pulsing fino a 50KHz, pulsing multi-setpoint, pulse shaping e frequency tuning brevettato MKS.

Dynamic Frequency Tuning (DFT) costituisce avanzamento significativo rispetto ai tradizionali algoritmi guided-search Auto Frequency Tuning. Mentre schemi frequency tuning convenzionali richiedono >500 µsec di steps coarse/fine per cercare minima reflected power, DFT utilizza misurazione distorsione potenza per regolare frequenza in <50 µsec, riducendo plasma stabilization time per 3D NAND etching e migliorando impedance matching durante ALD/ALE.

Modelli disponibili:

• KEINOS 5kW – Controllo digitale con sensore VI integrato
• KEINOS 11kW – Performance potenziata per applications critical
• KEINOS 13kW – Massima potenza con DFT opzionale

Serie Spectrum: Versatilità Multi-Frequenza

Spectrum 13.56MHz: Standard Industriale

I generatori Spectrum 13.56MHz offrono high power density, eccellente stabilità, margini potenza generosi e affidabilità elevata per lower cost ownership e yield migliorato, wafer-to-wafer e run-to-run. Disponibili in livelli potenza 1.5kW e 3.0kW per applicazioni CVD, PVD, etching e thin film durante manifattura circuiti integrati, flat panel display, optical media e industrial coatings.

Spectrum 2MHz: High Power Applications

Le versioni Spectrum 2MHz (B5002 5.0kW, B11002 11.0kW) forniscono potenza elevata a 2MHz per processi avanzati richiedenti capacità superiori con stessa affidabilità caratteristica della serie.

Serie elite: Efficienza Compatta

I generatori elite 13.56MHz sono progettati con high speed closed loop control, classe E RF deck e switching modulator per performance output superiore. Design integrato single PCBA offre affidabilità eccezionale, mentre configurazione air cooled, compatta e lightweight fornisce soluzione cost-effective easy-to-install per deposizione RF ed etch needs.

Caratteristiche innovative:

• Enclosure half rack compatto per direct tool mounting
• Design single board integrato elimina cavi e connettori
• Tecnologia inductive-clamp brevettata protegge da condizioni load VSWR avverse
• Control FPGA-based per fast control loop e protezione transients
• Common Exciter (CEX) per master slave operation

Livelli potenza: 300W, 600W, 750W in enclosures 2U full rack e 3U half rack

Serie Genesis ENI: Heritage Tecnologico

I generatori Genesis ENI feature high power density, stabilità eccezionale, margini potenza generosi e affidabilità elevata. Accuratezza ±1% tied to e transferable da United States National Institute of Standards. Disponibili in multiple frequenze incluso 40.68MHz con output fino a 3000W per applicazioni specializzate.

Generatori Microwave: Applicazioni Industriali

I generatori microwave MKS offrono sistemi compatti industriali 915MHz e 2450MHz adattabili a wide range applicazioni incluso Food/Beverage Packaging, Environmental e Advanced Industrial processes come coating, material growth e automotive. Design chassis power system robusto modulare con advanced filament ed electromagnetic management per durata estesa.

Sistemi RF Delivery Integrati

Matchwork® Impedance Matching Networks

Le reti impedance matching Matchwork® forniscono tuning efficiente e veloce dei generatori RF per applicazioni PECVD, HDPCVD ed etch. Linea “off-the-shelf” e networks automatici customizzati fornisce impedance matching veloce ed efficiente per tutte le applicazioni solar, semiconductor e flat panel.

High Power Microwave Plasma System

Il sistema comprende High Power Microwave Plasma Source, generator (con isolator) e auto-tuning system con Precision Power Detector e SmartMatch® unit. Fornisce alta concentrazione radicali con low electron temperatures per highest dissociation e lowest recombination rates.

Pulsed DC Power: RPDG Series

I generatori RPDG forniscono asymmetric bipolar e unipolar pulsed DC power per reactive PVD, CVD bias e enhancement coating applications. La linea elimina yield-limiting factors, permettendo a existing PVD tools di produrre high quality, low-defect films necessari per next generation processes.

Modelli disponibili:

• RPDG-50 – 5kW in 3U unit
• RPDG-100 – 10kW con programmable frequency/duty cycle
• RPDG-200 – 20kW per applications high-power

Applicazioni Processo Critiche

Semiconductor Manufacturing:

• Chemical Vapor Deposition (CVD) per thin film formation
• Physical Vapor Deposition (PVD) per metal/dielectric layers
• Atomic Layer Deposition (ALD) con controllo atomic-level
• Plasma Enhanced CVD (PECVD) per enhanced deposition
• Etching processes per pattern definition

Advanced Applications:

• 3D NAND channel hole etching con DFT
• FinFET processing per advanced nodes
• MEMS manufacturing con precision control
• LED passivation e etch applications
• Amorphous silicon PV manufacturing

Vantaggi Competitivi Tecnologici

Controllo Avanzato: DSP-based power control con fast response times e accurate power detection tramite integrated VI probes per monitoring real-time forward/reflected power.

Affidabilità Superiore: Solid-state design con inductive-clamp protection contro adverse load conditions e plasma fluctuations per operational reliability estesa.

Integrazione Seamless: Compatibilità SEMI standards (S2, S7, S14, F47) con optical communication immunity a electromagnetic interference e support worldwide AC input ranges.

Cost-Effectiveness: Air-cooled designs riducono infrastructure requirements mentre efficient switch mode topology minimizza energy consumption e operating costs.

I generatori RF potenza MKS Instruments sono la scelta preferita da OEM e fab leader mondiali per applicazioni mission-critical richiedenti massima precisione, affidabilità operativa e performance superiori negli ambienti manifatturieri semiconduttori più avanzati.