Scopri il Park FX200, l’innovazione di punta di Park Systems per la microscopia a forza atomica (AFM) su wafer da 200 mm. Progettato per superare i limiti delle tecnologie esistenti, il Park FX200 stabilisce un nuovo standard in termini di precisione, velocità e automazione, rendendolo lo strumento ideale sia per la ricerca che per l’industria.
Prestazioni Ineguagliabili per Risultati Straordinari
Il cuore del Park FX200 è la sua eccezionale stabilità. Grazie a una struttura meccanica all’avanguardia, offre un rumore di fondo significativamente inferiore e una deriva termica minima. Questo garantisce dati ultra-precisi e affidabili, permettendo a scienziati e ingegneri di ottenere intuizioni senza precedenti.
Ecco cosa lo rende superiore:
Velocità Z potenziata: Un servo Z più rapido aumenta l’efficienza operativa e riduce i tempi di scansione.
Imaging ad alta potenza: La visione migliorata del campione offre dettagli impeccabili su scala nanometrica.
Automazione Intelligente per Massimizzare la Produttività
Il Park FX200 è progettato per semplificare le operazioni complesse, liberando tempo prezioso. Le sue funzionalità automatiche riducono gli errori umani e velocizzano l’intero processo di analisi, dalla configurazione all’ottenimento dei risultati.
Le funzioni di automazione includono:
Sonda e laser automatici: Riconoscimento, scambio e allineamento automatico della sonda e del fascio laser.
Navigazione intelligente: Autofocus ottico, navigazione e misurazioni sequenziali su più coordinate del campione.
Analisi semplificata: Impostazioni automatiche dei parametri di scansione AFM e analisi automatizzata dei dati.
Grazie a queste caratteristiche, l’FX200 è uno strumento intuitivo che massimizza la produttività, consentendo di concentrarsi sui risultati anziché sulle procedure.
Perché Scegliere Park FX200?
Il Park FX200 è più di un semplice microscopio: è una soluzione completa che combina prestazioni superiori e facilità d’uso. Che tu stia conducendo una ricerca avanzata o gestendo applicazioni industriali, l’FX200 ti permette di rivoluzionare l’imaging e l’analisi a livello nanometrico.
La struttura meccanica migliorata riduce il rumore di fondo operativo e la deriva termica e consente di ottenere un fascio di luce SLD più concentrato, superando i limiti precedenti. Questo porta a una maggiore precisione di misura e a immagini ad alta risoluzione.
Dimensioni ridotte dello spot laser
Le dimensioni dello spot laser sono molto ridotte poiché il fascio SLD viene focalizzato attraverso l’obiettivo.
Il diametro di 11 µm del fascio SLD consente una maggiore applicabilità dei cantilever a imaging rapido.
Prestazioni del servo Z più veloci
Azionato da uno stack piezoelettrico ad alta forza e guidato da una struttura di flessione
Il nuovo controllore elettronico dell’AFM FX garantisce prestazioni più rapide del servo Z con una migliore accuratezza
La modalità di scansione AFM più precisa di sempre
La modalità True Non-contact™ consente di ottenere un controllo senza precedenti sulla distanza punta-campione su scala sub-nanometrica.
Park FX200 dispone di una modalità True Non-contact™ più veloce e accurata di qualsiasi altro AFM sul mercato.
La modalità di scansione AFM più precisa di sempre
La modalità True Non-contact™ consente di ottenere un controllo senza precedenti sulla distanza punta-campione su scala sub-nanometrica.
Park FX200 dispone di una modalità True Non-contact™ più veloce e accurata di qualsiasi altro AFM sul mercato.
Il sistema di scansione avanzata Park
Tecnologia in modalità True Non-contact™
Gestisce wafer e campioni multipli
Può ospitare una varietà di dimensioni di campioni, compresi wafer fino a 200 mm, su misura per le esigenze industriali.
Il mandrino a vuoto può contenere fino a 16 campioni di coupon, consentendo esperimenti diversi in un’unica configurazione.
Supporto per wafer
da 200 mm
Accoglie wafer di dimensioni fino a 200 mm, essenziali per la produzione di semiconduttori e la ricerca sulla scienza dei materiali. Il mandrino a vuoto assicura un posizionamento stabile per l’imaging ad alta risoluzione e misure precise, migliorando la versatilità e l’efficienza.
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Contiene fino a
16 campioni in formato coupon
Il portacampioni in vuoto può contenere contemporaneamente fino a 16 campioni di dimensioni pari a quelle di un coupon, aumentando la produttività grazie alla possibilità di eseguire diversi esperimenti in un’unica sessione. Questa caratteristica riduce i tempi di inattività e massimizza l’efficienza, ideale per i laboratori che devono analizzare rapidamente più campioni.
Automazione intelligente
Automatizza le attività essenziali, come il riconoscimento e lo scambio delle sonde, l’allineamento del laser e la regolazione dei parametri, aumentando così l’efficienza. Dispone di 16 slot per sonde per misure ripetitive e transizioni di modalità, riducendo i tempi di inattività e migliorando l’efficienza.
Riconoscimento automatico delle punte
La telecamera per l’identificazione delle sonde legge il codice QR impresso sul supporto del chip di una nuova sonda, visualizzando tutte le informazioni pertinenti su ciascuna punta, tra cui tipo, modello, applicazione e utilizzo. Ciò consente di selezionare rapidamente la punta migliore per ogni lavoro, garantendo precisione ed efficienza.
Sostituzione automatica della sonda
Grazie alla sostituzione automatica delle sonde, è possibile sostituire le vecchie sonde in modo semplice e sicuro con la massima automazione. Dotato di 16 slot per sonde per misure ripetitive e transizioni di modalità, riduce i tempi di inattività e migliora l’efficienza grazie alla commutazione rapida e autonoma delle sonde.
Allineamento automatico del raggio laser
L’allineamento automatico del fascio posiziona il fascio laser sulla posizione corretta di un cantilever e ottimizza ulteriormente la posizione dello spot sul PSPD sia verticalmente che lateralmente. Sposta gli assi X, Y e Z per ottenere immagini più chiare, senza distorsioni, il tutto autonomamente con un semplice clic.
Funzionamento semplificato
Navigazione automatica della messa a fuoco
Lo zoom avanzato della regione di interesse (ROI) utilizza un’ampia telecamera per visualizzare l’intero wafer da 200 mm, semplificando l’analisi e consentendo un posizionamento rapido e preciso. Ciò riduce il tempo necessario per individuare le aree target, dalle ampie scansioni di rilevamento agli ingrandimenti dettagliati. Inoltre, la visione ottica raffinata offre una chiarezza eccezionale, risolvendo linee di larghezza inferiore a 1 µm.
Misure sequenziali automatiche
Consente di impostare coordinate predefinite su campioni di grandi dimensioni, come wafer da 200 mm o campioni su mandrini multi-campione, per un’esecuzione automatizzata. Supporta misure sequenziali, tra cui topografia e modalità avanzate, e semplifica i flussi di lavoro in ambienti di ricerca e industriali.
Controllore AFM di nuova generazione per prodotti di alta gamma
Il controller Park FX è stato progettato specificamente per aumentare le prestazioni della serie Park FX. Questo importante sviluppo consente di realizzare applicazioni avanzate di microscopia a forza piezoresponsiva (PFM), come la Contact Resonance PFM (CR-PFM) e il Dual-Frequency Resonance Tracking (DFRT-PFM), senza la necessità di hardware aggiuntivo, assicurando ai nostri clienti di trarre il massimo vantaggio dai più recenti progressi nella microscopia a forza atomica.
DFRT-PFM senza amplificatori esterni
Maggiore sicurezza e monitoraggio ambientale in tempo reale
Abilitazione diretta della CR-PFM con una maggiore larghezza di banda di modulazione del bias di punta
Connettività Ethernet più veloce per un’elaborazione rapida dei dati e delle immagini