Park NX-Hivac AFM:

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Il Park NX-Hivac AFM rappresenta una rivoluzione nell’analisi dei semiconduttori più avanzati, essendo l’unico microscopio a forza atomica al mondo progettato specificamente per operare in condizioni di alto vuoto. Questo strumento straordinario apre nuove frontiere per ingegneri di failure analysis e ricercatori che lavorano con materiali ultra-sensibili all’atmosfera, dove anche la minima contaminazione può compromettere risultati critici.

Quando l’Ambiente Fa la Differenza Assoluta

Nel mondo dei semiconduttori ad alta integrazione, ogni atomo conta. Ossigeno, umidità e altri contaminanti atmosferici possono alterare drasticamente le proprietà elettriche dei campioni, rendendo impossibili misurazioni accurate di concentrazione dopante o resistività. Il Park NX-Hivac elimina completamente questi problemi creando un ambiente ultra-pulito sotto i 10⁻⁵ torr in soli 5 minuti.

La tecnologia SSRM (Scanning Spreading Resistance Microscopy) in alto vuoto raggiunge sensibilità e risoluzione quattro volte superiori rispetto a condizioni ambiente normali. Questo significa identificare difetti invisibili, mappare concentrazioni dopante con precisione senza precedenti, e ottenere profili carrier 2D di dispositivi di nuova generazione che altri strumenti non riescono nemmeno a rilevare.

Progettato per Produttività e Affidabilità Industriale

Il sistema Hivac Manager rivoluziona l’uso dell’alto vuoto eliminando la complessità tradizionale. Con un singolo clic, il software gestisce automaticamente pompaggio, mantenimento e ventilazione, monitorando visivamente ogni fase attraverso codici colore intuitivi. Non servono più specialisti per operazioni di vuoto: qualsiasi tecnico può ottenere risultati professionali.

La capacità multi-campione fino a 5 pezzi elimina tempi morti e massimizza il throughput, mentre il range dinamico di 7 decadi per concentrazione dopante copre l’intera gamma di applicazioni semiconduttore, dall’isolante al metallico. La forza di interazione ridotta preserva film sottili delicati e prolunga drasticamente la vita delle punte.

Applicazioni che Definiscono il Futuro

Nell’analisi failure dei processori avanzati, il NX-Hivac rivela difetti di drogaggio che causano malfunzionamenti inspiegabili. Per lo sviluppo memoria di nuova generazione, mappa resistività locale con risoluzione nanometrica per ottimizzare architetture 3D. Nella ricerca materiali 2D, caratterizza proprietà elettriche senza alterazioni atmosferiche.

Le misure SSRM ad alta risoluzione sono fondamentali per validare processi di impiantazione ionica e diffusione termica nei nodi tecnologici più avanzati. La capacità di operare su range insulator-metal permette analisi complete di dispositivi complessi in singole sessioni.

Tecnologia Senza Compromessi

Il sistema integra tutto l’ecosistema tecnologico Park Systems: scanner flexure-based indipendenti per accuratezza nanometrica, rilevatore Z ultra-low-noise (0.30Å anche con pompa attiva), True Non-Contact Mode™ per preservazione totale campioni, e controller NX 24-bit per elaborazione segnali avanzata.

L’allineamento laser motorizzato e l’ottica ad alta risoluzione garantiscono setup rapidi anche in vuoto, mentre la camera da 250x320x270mm offre spazio sufficiente per campioni complessi mantenendo stabilità termica ottimale.

Investimento in Leadership Tecnologica

Scegliere il Park NX-Hivac significa posizionarsi all’avanguardia della caratterizzazione semiconduttori. La capacità di analizzare dispositivi impossibili da misurare con altri strumenti si traduce in vantaggio competitivo decisivo e possibilità di ricerca rivoluzionarie.

Il supporto Gambetti garantisce implementazione seamless, training specializzato su tecniche vacuum, e assistenza continua per massimizzare il potenziale di questo strumento unico al mondo.

Scoprite con Gambetti come il Park NX-Hivac può trasformare le vostre capacità analitiche e aprire nuove possibilità di ricerca precedentemente inaccessibili.