FALCON RIE+

---

Tecnologia Plasma Avanzata per Ricerca e Industria

Il FALCON RIE+ rappresenta l’ultima frontiera dei reattori al plasma sviluppati da Gambetti Kenologia. Questo sistema innovativo è stato progettato per rispondere alle crescenti esigenze della ricerca moderna sui materiali bidimensionali e alle applicazioni industriali più sofisticate.

Doppia Modalità Operativa: Massima Versatilità

Modalità Anisotropica

• Polarizzazione porta campioni per attacco direzionale
• Ideale per processi che richiedono alta precisione geometrica
• Controllo ottimale della verticalità delle pareti

Modalità Isotropica

• Polarizzazione elettrodo superiore per attacco uniforme
• Perfetta per pulizia e attivazione superficiale
• Trattamenti delicati su materiali sensibili

Specifiche Tecniche di Eccellenza

Camera di Processo

• Diametro massimo campioni: 8 pollici
• Elettrodo inferiore: 200 mm di diametro
• Sistema di vuoto: Pompa turbomolecolare ad alte prestazioni
• Valvola gate: 3 posizioni per controllo pressione ottimale

Generatore RF Avanzato

• Frequenza: 15,56 MHz
• Potenza: Da <10W fino a 200W
• Step minimo: 1W per controllo ultra-preciso
• Densità di potenza: Basso valore W/cm² per materiali delicati

Applicazioni Specializzate

Ricerca su Materiali 2D e Grafene

Il FALCON RIE+ è stato specificamente ottimizzato per:

• Etching delicato di grafene monostrato
• Preparazione substrati per dispositivi 2D
• Controllo spessore a livello atomico
• Modellazione senza reticolazione di photoresist PMMA

Applicazioni Tradizionali RIE

• Attacco su silicio e derivati
• Lavorazione nitruro di silicio
• Processi su materiali semiconduttori
• Pulizia e attivazione superficiale

Sistema Gas Completo

Il sistema supporta una gamma completa di gas di processo:

• N₂ (Azoto): Per processi inerti e pulizia
• Ar (Argon): Sputtering fisico e attivazione
• O₂ (Ossigeno): Rimozione organici e ash
• SF₆ (Esafluoruro di zolfo): Etching silicio
• CF₄ (Tetrafluorometano): Etching ossidi e nitruri

Vantaggi Competitivi

Controllo di Precisione

• Flusso gas lineare dall’alto verso il basso
• Uniformità processo garantita
• Ripetibilità eccellente

Flessibilità Operativa

• Commutazione rapida tra modalità operative
• Range pressioni esteso
• Adattabilità a diverse applicazioni

Affidabilità Industriale

• Componenti di qualità superiore
• Manutenzione semplificata
• Supporto tecnico dedicato

Perché Scegliere FALCON RIE+

Il FALCON RIE+ non è solo un reattore plasma, ma una soluzione tecnologica completa per laboratori di ricerca e centri di sviluppo che lavorano con:

• Materiali bidimensionali (grafene, MoS₂, BN)
• Nanotecnologie avanzate
• Dispositivi elettronici di nuova generazione
• Applicazioni fotovoltaiche innovative

Supporto Tecnico e Assistenza

Gambetti Kenologia offre:

• Installazione chiavi in mano
• Formazione operatori
• Assistenza tecnica specializzata
• Sviluppo processi personalizzati

---

Richiedi Informazioni

Contatta i nostri esperti per scoprire come il FALCON RIE+ può accelerare la tua ricerca e ottimizzare i tuoi processi produttivi.

Gambetti Kenologia – Leaders nell’innovazione plasma dal 1985.

---