MKS Instruments: Process Monitors

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I process monitors MKS Instruments rappresentano la soluzione più avanzata per il monitoraggio in tempo reale di processi semiconduttori e applicazioni thin film. Questi sistemi integrati combinano analizzatori gas residui (RGA), software di controllo avanzato e automazione intelligente per garantire massima produttività e qualità nei processi manifatturieri critici.

Serie Vision: Eccellenza nel Monitoraggio Multi-Pressione

Vision 2000-A: Specialista ALD e CVD

Il Vision 2000-A è progettato specificamente per processi Atomic Layer Deposition (ALD) e Chemical Vapor Deposition (CVD). Fornisce monitoraggio in tempo reale di precursori, sottoprodotti di reazione e contaminanti durante cicli completi di processo. La tecnologia “smart head” garantisce rilevamento a livello di tracce per perdite d’aria e contaminazione di fondo.

Vision 2000-C e 2000-E: Versatilità Operativa

I modelli Vision 2000-C (1-300 amu) e Vision 2000-E (1-200 amu) incorporano sorgente ionica chiusa e inlet automatizzato per monitoraggio seamless da vuoto di base fino a 700 Torr. Ideali per processi CVD ed Etch, utilizzano il doppio filtro RF con sistema UniBloc™ per campionamento ottimizzato a multiple pressioni.

Vision 2000-P: Eccellenza PVD

Specializzato per processi Physical Vapor Deposition, il Vision 2000-P offre rilevamento a livello ppb di gas contaminanti durante sputtering e evaporazione. La sorgente ionica chiusa massimizza il rapporto segnale/rumore, permettendo analisi ultra-sensibili di idrocarburi e contaminanti critici.

Microvision 2: Velocità e Precisione

Il Microvision 2 rappresenta l’innovazione più avanzata nella tecnologia RGA, progettato per raccolta dati a velocità millisecondi su tutto il range dinamico. La tecnologia “smart head” integrata permette controllo completo via web browser da qualsiasi punto della rete aziendale.

Caratteristiche distintive:

• Acquisizione dati millisecondi per punto
• Doppio rilevatore Faraday e moltiplicatore elettronico
• Temperatura stabilizzata per deriva baseline minimizzata
• Filamenti gemelli per massima uptime operativa

e-Vision 2: Efficienza Economica

L’e-Vision 2 fornisce tutte le funzionalità RGA essenziali con rapporto qualità-prezzo ottimizzato. Ideale per applicazioni diagnostic generali, offre controllo web integrato e software EasyView opzionale per massima flessibilità operativa.

Software di Controllo Integrato

Process Eye Professional

Piattaforma di controllo recipe-based completamente configurabile dall’utente. Permette:

• Automazione intelligente con allarmi personalizzabili
• Modalità di scansione multiple (Bar Chart, Analog, Peak Jump)
• Recipe Wizard per configurazione semplificata
• Integrazione I/O analogico/digitale per parametri ausiliari

TOOLweb Platform

Sistema web-enabled per controllo automatizzato process-specific, ottimizzato per integrazione seamless con strumenti semiconduttori di produzione.

Applicazioni Industriali Critiche

Manifattura Semiconduttori:

• Monitoraggio baseline per leak detection
• Controllo contaminazione durante CVD/ALD/PVD
• Analisi composizione gas di processo
• Diagnostica camera e matching strumenti

Thin Film Processing:

• Controllo purezza gas di alimentazione
• Monitoraggio exhaust gas per fault detection
• Sviluppo recipe di processo
• Quality assurance produzione

Applicazioni Farmaceutiche:

• Liofilizzazione controllo ambiente
• Monitoraggio purezza bulk gas
• Validazione processi sterili

Vantaggi Competitivi Tecnologici

Robustezza Industriale: Progettazione field-proven per ambienti severi con resistenza superiore alla contaminazione grazie ai sistemi multi-filtro.

Integrazione Seamless: Compatibilità nativa con rack 19″, explosion-proof rating e comunicazioni standard industriali (Modbus, HART, TCP/IP).

Manutenzione Ridotta: Tecnologia solid-state wide dynamic range con protezioni automatiche over-range e temperature-inhibit per massima affidabilità operativa.

Scalabilità Sistema: Dalla singola camera al factory-wide monitoring, con supporto mobile platform per flessibilità deployment.

Supporto Tecnico Globale

MKS fornisce supporto completo con calibrazione automatica, training specializzato e servizio globale 24/7. I sistemi includono fail-safe protection per strumenti e RGA, garantendo operatività continua anche in condizioni critiche.

I process monitors MKS Instruments sono la scelta preferita da leader mondiali semiconduttori per applicazioni mission-critical che richiedono precisione analitica, affidabilità operativa e integrazione intelligente nei moderni ambienti manifatturieri automatizzati.