Profilometro Stylus Compatto KLA AlphaStep D-600:

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Il profilometro stylus compatto KLA AlphaStep D-600 combina prestazioni avanzate con design compatto per laboratori con esigenze di spazio ottimizzate. Questo sistema versatile offre misurazioni 2D e 3D di step height da nanometri fino a 1200µm, superando i limiti dei sistemi tradizionali con un footprint ridotto che non compromette le prestazioni.

Tecnologia Optical Lever Sensor Innovativa

Il cuore del profilometro stylus compatto D-600 è la tecnologia optical lever sensor all’avanguardia. Questo sistema offre alta risoluzione, ampio range verticale e capacità di misurazione a bassa forza da 0.03 a 15mg. La tecnologia optical lever garantisce ripetibilità superiore rispetto ai sistemi force coil convenzionali, mentre mantiene la precisione necessaria per applicazioni critiche da R&D a produzione.

Sistema Ottico Avanzato con Keystone Correction

Il D-600 integra una camera a colori ad alta risoluzione da 5MP con zoom digitale 4X e controlli illuminazione avanzati. La funzione keystone correction brevettata KLA corregge automaticamente le distorsioni prospettiche tipiche dell’ottica side view, rendendo la navigazione dei campioni più rapida e precisa. Questo sistema vision combinato con algoritmi software avanzati semplifica significativamente il targeting delle aree di misurazione.

Capacità di Misurazione Estese

Il profilometro stylus compatto D-600 eccelle in diverse applicazioni critiche. Misura step height 2D e 3D con range eccezionale fino a 1200µm, quantificando materiale depositato o rimosso da processi come etch, sputter, SIMS, deposizione e CMP. Le misurazioni texture 2D e 3D quantificano rugosità e waviness, mentre i filtri software separano componenti per calcoli RMS roughness precisi.

Chuck Motorizzato e Versatilità Campioni

Lo stage motorizzato con chuck vacuum da 200mm gestisce campioni diversi con precisione. Il chuck standard nickel-plated supporta campioni fino a 200mm, mentre l’opzione universal vacuum include precision locating pins per campioni 50-200mm. Entrambe le configurazioni supportano misurazioni stress con locatori 3-point per posizione neutra e bow measurements accurati.

Multi-Step Analysis e Automazione

L’algoritmo Multi-Step Analysis automatico analizza fino a 30 caratteristiche lungo singoli profili di scansione con posizionamento cursori automatico. Questa innovazione riduce drasticamente time-to-results eliminando variabilità delle misurazioni manuali. L’arc correction standard elimina errori da movimento arcuato dello stylus, garantendo linearità perfetta.

Stili Diamante e Configurazioni

Il D-600 supporta stili con tip radius da 100nm a 50μm per ottimizzare ogni applicazione. Gli angoli inclusi 20-100° specificano aspect ratio massimo delle feature misurate. Tutti gli stili diamante riducono usura aumentando lifetime, mentre la forza regolabile permette misurazioni accurate su materiali delicati come photoresist.

Software Offline e Produttività

Il software offline D-600 replica le capacità di analisi dati del sistema, permettendo elaborazioni senza occupare tempo strumento prezioso. Questa funzionalità ottimizza produttività laboratorio permettendo analisi approfondite post-acquisizione.

Servizi Gambetti

Come distributore autorizzato KLA, Gambetti offre supporto completo per l’AlphaStep D-600. Forniamo consulenza pre-vendita, demo personalizzate, training certificato e assistenza tecnica specializzata. Il nostro team supporta configurazione ottimale, selezione stili e integrazione laboratorio per massimizzare ROI dell’investimento.