KLA Instruments

Il profilometro a stilo Alpha-Step D600 consente di  effettuare in modo veloce ed accurato misure 2D e 3D della topografia superficiale e dello stress col miglior rapporto prezzo/prestazioni disponibile sul mercato.
Il D-600 utilizza una innovativa tecnologia ottica per il sensore di misura che permette allo strumento di offrire un’escursione verticale massima di ben 1200 μm, una risoluzione strumentale sub-Angstrom e la possibilità di  regolare la forza applicata dallo stilo da 0.03 mg a 15 mg.
La possibilità di misurare un ampio intervallo di campioni per diverse applicazioni, ad esempio gradini dai nanometri ai millimetri, misure di rugosità ad alta risoluzione,  materiali soffici e film stress consente al D-600 di essere idoneo per i più svariati ambiti industriali e di ricerca e sviluppo.
Il D-600 include un tavolino portacampioni motorizzato da 200mm con escursioni di 150x178mm in X e Y rispettivamente. Il nuovo software di sequenziamento consente di programmare sino a 1000 punti di misura sul campione. Inoltre è dotato di ottica avanzata , di una CCD a 5MP con zoom digitale 4X e controlli video avanzati per un’ottimale visualizzazione del campione.

I profilometri a stilo KLA-Tencor offrono un’ assortita gamma di soluzioni tecniche in grado di soddisfare le più diverse esigenze applicative, dalle più semplici alle più complesse.

Tra le varie applicazioni possibili citiamo:

• Analisi della topografia superficiale
• Metrologia di precisione di altezza gradini
• Analisi di forma
• Analisi dello stress di film sottili
• Biologia
• MEMS
• Caratterizzazione di processi