La tecnologia del profilometro a stilo P-7 si base sulla ben consolidata e lunga esperienza di KLA-Tencor di progettazione e realizzazione di profilometri meccanici a stilo per Semiconduttori, Solare, Optoelettronica ed R&D.
Il P7 riassume nel suo profilo tecnologico tutte le tecnologie di punta di KLA per la profilometria a stilo.
Lo strumento consente di effettuare misure 2D e 3D, scansioni lunghe, misure di stress, di altissima risoluzione ed in sequenza.
Lo strumento utilizza un sensore di tipo capacitivo che garantisce la più alta accuratezza, riproducibilità, ripetibilità ed la minore deriva termica disponibile sul mercato.
È dotato di tecnologia “Point&Click” per una facile navigazione del campione ed è equipaggiato in configurazione standard col software Apex 2D, disponibile in opzione anche in 3D.
Tra le principali applicazioni dello strumento vi sono:
- Misura di film sottili
- Misura di fotoresist e film soffici
- Misura di trench
- Caratterizzazione di rugosità e planarità
- Misura dello stress in 2D
- Analisi dimensionale
- Ricostruzione topografica 3D
- Revisione di difettosità
Link prodotto
GAMBETTI KENOLOGIA SRL
Commerciale
sales@gambetti.it
Assistenza tecnica
service@gambetti.it
Prodotti usati
occasioni@gambetti.it