VLSI Standard

Standard di Resistività e ITO per Calibrazione Strumenti di Misurazione Elettrica

VLSI Standard resistivity ITO


La calibrazione degli strumenti di misurazione della resistività non deve essere un processo complicato. I nostri standard di resistività e standard ITO rappresentano la soluzione professionale per la calibrazione precisa di strumenti di misurazione elettrica sia a contatto che senza contatto.

Standard di Resistività (RS): Precisione su 4 Decadi

I nostri standard di resistività coprono quattro decadi di valori e sono progettati specificamente per la calibrazione della resistenza di strumenti di misurazione della resistività sia a contatto che senza contatto.

Processo di Produzione degli Standard di Calibrazione

Gli standard di calibrazione della resistenza sono creati attraverso un processo rigoroso:

  • Taglio di lingotti monocristallini drogati in wafer
  • Lappatura secondo le specifiche VLSI Standards
  • Pulizia chimica per garantire la massima precisione
  • Certificazione tracciabile per ogni wafer

Caratteristiche Tecniche dei Wafer di Silicio

I nostri wafer di silicio per calibrazione sono disponibili in tre formati principali:

Wafer da 3 pollici (76.2 mm)

  • Resistività: da 0.002 a 30 ohm.cm
  • Materiale: Silicio tipo p (drogato Boro)
  • Tolleranza: ±20% (±30% per valori estremi)
  • Spessore: 508 ± 25 µm

Wafer da 8 pollici (200 mm)

  • Resistività: da 0.01 a 30 ohm.cm
  • Resistenza superficiale: da 0.14 a 423 Ohm/Sq.
  • Spessore: 710 ± 25 µm

Wafer da 12 pollici (300 mm)

  • Resistività: da 0.02 a 10 ohm.cm
  • Resistenza superficiale: da 0.27 a 135.3 Ohm/Sq.
  • Spessore: 775 ± 25 µm

Vantaggi degli Standard di Resistività

  • Superficie lappata per migliore penetrazione attraverso l’ossido nativo
  • Contatto ottimale con sistemi di sonda a 4 punti
  • Certificazione al centro di ogni wafer
  • Tracciabilità garantita per l’accuratezza
  • Certificati di calibrazione inclusi con valori di incertezza calcolati

Standard di Resistenza Superficiale ITO: Eccellenza per Display e Touch Screen

Gli Standard di Resistenza Superficiale ITO (ITOSRS) sono prodotti tracciabili progettati per la calibrazione di strumenti di misurazione della resistenza superficiale ITO utilizzati nei mercati LCD, pannelli piatti e touch screen.

Descrizione del Prodotto ITO

Il nostro standard ITO consiste in:

  • Substrato in vetro con film sottile di ossido di indio stagno sputterato
  • Rivestimento completo della superficie del substrato
  • Area certificata di 30 mm di diametro al centro
  • Adatto per sonde senza contatto, sonde a quattro punti e altri standard di resistenza superficiale

Specifiche Tecniche Standard ITO

Caratteristiche Fisiche

  • Dimensioni substrato: 125 mm x 125 mm x 0.7 mm
  • Materiale: 90% In₂O₃ : 10% SnO₂
  • Area certificata: 30 mm di diametro al centro della piastra

Prestazioni Elettriche

  • Valori nominali di resistenza superficiale: 15 Ω; 90 Ω
  • Uniformità resistenza superficiale nell’area certificata: < 1.5% (1σ)
  • Incertezza espansa certificata:
    • 3% per il modello 15 Ω (confidenza 95%)
    • 5% per il modello 90 Ω (confidenza 95%)

Certificazione e Tracciabilità

  • Serializzazione individuale di ogni piastra
  • Tracciabilità alle unità SI attraverso NIST SRM 2543 o 2544
  • Certificati di calibrazione inclusi

Applicazioni degli Standard di Resistività e ITO

Industrie di Destinazione

  • Semiconduttori: Controllo qualità e calibrazione strumenti
  • Display LCD: Calibrazione resistenza superficiale ITO
  • Touch screen: Standard per dispositivi tattili
  • Pannelli piatti: Controllo resistività film sottili
  • Ricerca e sviluppo: Laboratori di metrologia

Strumenti Compatibili

  • Sonde a quattro punti per misurazione resistività
  • Strumenti senza contatto per mappatura resistenza
  • Sistemi di misurazione automatizzati
  • Equipaggiamenti di controllo qualità

Perché Scegliere i Nostri Standard di Calibrazione

Qualità Garantita

  • Processo produttivo controllato secondo standard VLSI
  • Certificazione tracciabile per ogni prodotto
  • Controllo qualità rigoroso in ogni fase

Supporto Tecnico

  • Certificati di calibrazione dettagliati
  • Valori di incertezza calcolati scientificamente
  • Supporto applicativo per l’implementazione

Versatilità

  • Ampia gamma di valori di resistività
  • Formati multipli per diverse applicazioni
  • Compatibilità con strumenti a contatto e senza contatto

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I nostri standard di resistività e standard ITO rappresentano l’investimento ideale per garantire misurazioni precise e tracciabili nel settore elettronico e dei semiconduttori.

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