Valvole da vuoto di tipo GATE

Descrizione

Isolamento della pompa primaria per applicazioni sottovuoto e nei semiconduttori

La valvola gate di MKS R Series è ottimizzata per l’isolamento delle pompe primarie e delle linee da vuoto nelle applicazioni dei  semiconduttore che di  vuoto generale.

La serie R è disponibile con una vasta gamma di opzioni, tra cui attuatori pneumatici e manuali, capacità di esclusione dei tag di blocco e bypass a pompa  di tipo soft per eliminare la turbolenza e la conseguente generazione di particelle durante il pumpdown dall’atmosfera.

La serie R utilizza una tenuta meccanica in elastomero per la tenuta dell’attuatore, che consente prestazioni elevate in un pacchetto economico e di alto valore.

La versione in acciaio inossidabile della valvola a gate R Series è disponibile nelle dimensioni DN80, DN100 e DN160.

Caratteristiche e vantaggi:

  • Alta redittività e valore aggiunti
  • Permette alla pompa primaria di rimanere in funzione durante la manutenzione delle linee
  • Opzioni di riscaldamento ad alte prestazioni
  • Ottima uniformità di temperatura non assicura zone fredde sulle superfici interne impedisce la condensazione di effluenti e gas corrosivi
  • Ciclo di vita esteso
  • DN80 & DN100 > 200.000 cicli
  • DN160 > 100.000 cicli
  • Versioni in acciaio inox e alluminio
  • Disponibile in dimensioni DN80, DN100, DN160mm

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