Filmetrics società del gruppo KLA Instruments , ha sviluppato Profilm3D, il primo profilometro al mondo a basso costo, il cui costo è meno della metà del prezzo di un profilometro a stilo 3D o ad un AFM!
Profilm3D utilizza l’interferometria a luce bianca all’avanguardia (WLI) per misurare i profili superficiali e la rugosità fino a 0,05 μm; aggiungendo l’opzione PSI a basso costo, la dimensione minima della feature verticale scende a 0.001 μm.
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