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Analizzatori gas residui RGA serie Vision, Microvision per semiconduttori, CVD, ALD, PVD con controllo in tempo reale.
Sorgenti al plasma RF, per energizzare e dissociare i gas.
Generatori ozono MKS: serie SEMOZON per gas, LIQUOZON per acqua ozonizzata. ALD, CVD, pulizia wafer semiconduttori.
Generatori RF, alimentatori DC, DC pulsata e reti d’adattamento
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