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Vista-IR combina la tecnica AFM e la spettroscopia IR (AFM-IR)
Profilometro ottico 3D a luce bianca WLI, primo strumento al mondo ad un costo contenuto che consente di ottenere misure 3D, di rugosità, gradini, in modo semplice ed accurato
KLA P-7: profilometro stilo benchtop con scansione 150mm senza stitching. Sensore UltraLite®, risoluzione sub-angstrom, automazione.
KLA P-17: profilometro stylus avanzato 8ª generazione con scansione 200mm senza stitching. UltraLite® sensor, automazione completa, versione 300mm.
Z388 profilometro ottico confocale di tipo multimodale automatizzato
Evaporatore ideale per la produzione per wafer fino a 150 mm di diametro, per applicazioni come il lift-off o il rivestimento di gradini.
Sistema Temescal FC-4400: deposizione flagship 30 wafer 150mm, 15 wafer 200mm. Camera 44×44″, dual cryopump 35,000L/s.
L’alimentatore CV-12SLX per cannoni eletgtronici a tensione costante
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