MKS Intruments – Mass Flow Controller

Il controllore di flusso di massa serie C (MFC) è un modello compatto a risposta rapida che utilizza un sensore di flusso basato su sistemi microelettromeccanici (MEMS) per applicazioni con gas non corrosivi. È disponibile con portate di fondo scala da 50 sccm a 50 slm (equivalenti di  N2) con un intervallo di controllo compreso tra lo 0,1% del fondo scala e il 100% del fondo scala ed è disponibile anche come misuratore di portata. Sono disponibili interfacce di comunicazione analogiche (da 0 a 5 VCC) o digitali (RS485 o Modbus TCP / IP). La tensione di alimentazione richiesta è di 24 V CC nominale.

• Tempo di risposta ultraveloce <100 msec
• Intervallo di controllo dallo 0,1 al 100% del fondo scala
• Precisione di ± 0,8% del set point
• La deriva minima di zero e span assicura la riproducibilità a lungo termine
• Interfaccia a montaggio superficiale disponibile per la progettazione compatta del pannello di gas
• Browser Web incorporato per impostazione e diagnostica

Applicazioni

Il controllore di flusso di massa MF1 è progettato per essere particolarmente efficace in una vasta gamma di applicazioni analitiche, ambientali, PVD e di coating.