Oxford Instruments – PlasmaPro ASP

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Tecnologia ALD Breakthrough per Quantum Computing e R&D Avanzato

Il PlasmaPro ASP segna una svolta rivoluzionaria nella deposizione strato atomico (ALD) ad alta velocità. Questo sistema innovativo di Oxford Instruments, parte della gamma Atomfab®, raggiunge velocità di deposizione 20-200 nm/ora – tre volte superiori ai sistemi tradizionali – senza compromettere qualità e conformità dei film.

Sorgente Plasma Brevettata per Applicazioni Quantum

Progettato specificamente per tecnologie quantistiche e ricerca avanzata, il PlasmaPro ASP integra una sorgente plasma remoto di nuova generazione brevettata. Sviluppato in collaborazione con l’Università di Tecnologia di Eindhoven (TU/e), il sistema ha conquistato il premio “Best Paper” alla conferenza AVS ALD/ALE per le sue prestazioni innovative.

Caratteristiche tecniche distintive:

• Geometria camera ottimizzata per uniformità eccellente
• Controllo bias wafer per energia ionica precisa
• Deposizione plasma e termica nella stessa camera
• Controllo pulse gas fino a 10ms per dosaggio accurato

Applicazioni Quantum-Ready e Superconduttori

Il PlasmaPro ASP eccelle nella deposizione di film di nitruri superconduttori con alta temperatura critica (Tc) e bassa resistività, ideali per dispositivi quantum computing. La tecnologia plasma remoto garantisce basso danno e controllo atomico dello spessore per:

• Quantum bits (qubits) superconduttori
• Film dielettrici per elettronica avanzata
• Strutture 3D conformali ad alto rapporto di aspetto
• Ossidi e nitruri per photonics e sensori

Partner Ufficiale in Italia: Gambetti Kenologia

Gambetti Kenologia Srl, distributore autorizzato con sede a Binasco (Milano), fornisce supporto completo per il PlasmaPro ASP su tutto il territorio italiano. Con 50 anni di leadership nelle tecnologie del vuoto e sistemi plasma, Gambetti garantisce:

• Consulenza specializzata per applicazioni quantum
• Installazione e commissioning certificato
• Training dedicato su processi ALD/PEALD avanzati
• Assistenza tecnica con tecnici certificati Oxford Instruments
• Laboratorio attrezzato per test e sviluppo processi

Software PTIQ: Controllo Intelligente ALD

L’interfaccia PTIQ integrata offre controllo intuitivo e completo dei processi ALD con:

• Monitoraggio real-time di tutti i parametri
• Analytics avanzate per ottimizzazione continua
• Recipe management per riproducibilità eccellente
• Remote diagnostics per supporto proattivo

Vantaggi Competitivi per R&D

Il sistema PlasmaPro ASP accelera significativamente i cicli di sviluppo per ricerca quantistica e nanotecnologie attraverso:

• Throughput elevato per prototipazione rapida
• Film più spessi depositati in tempi ridotti
• Up-time elevato della macchina per produttività massima
• Flessibilità hardware per customizzazioni processo

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