AURIX
Sistema per la preparazione di superfici e la deposizione di rivestimenti superficiali avanzati e strati protettivi per dispositivi sensibili.
Prodotti
XERIC
Tecnologia utilizzante Difluoruro di Xenon in fase vapore per la rimozione a secco di strati sacrificali di Silicio e di SiO2
Partner
Dal 2003, memsstar è uni dei principali fornitori europeo per soluzioni di attacco e deposizione per il mercato dei semiconduttori, MEMS e relativi processi di produzione tecnologica.
memsstar produce sistemi avanzati per etching, deposizione e rivestimento superficiale, utilizzati nella realizzazione di dispositivi MEMS (Micro Electro Mechanical Systems), offrendo una varietà di soluzioni di processo per R&D e produzione
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Park Systems