Monitoraggio gas di processo RGA

Monitoraggio del processo con analizzatori di massa spettrometria / gas residui

I prodotti MKS per il monitoraggio dei processi,  sono strumenti innovativi  in-situ completamente integrati e specifici per molteplici applicazioni.

Gli spettrometri di massa di processo sono utilizzati in varie applicazioni, tra cui; Semiconduttori, film sottili (CVD, Etch, PVD e degasaggio), liofilizzazione farmaceutica e monitoraggio della purezza del gas sfuso.
Ogni sistema è progettato specificamente per il  monitoraggio, set di allarmi ed aiutare a controllare le diverse condizioni di processo.

Applicazioni

 Vision 2000-B ™ monitoraggio del vuoto base RGA – verifica le condizioni di pump-down, di linea di base e di perdite sugli strumenti di produzione (fino a 7.6e Torr massima pressione operativa)
Vision 2000-C ™ e Vision 2000-E ™ e Vision 2000-C ™ XD e Vision 2000-E ™ XD RGA ad alta sensibilità – monitoraggio multiplo della pressione delle specie gassose durante i processi di etch, CVD e ALD (fino a 1e-3 Torr massimo pressione di esercizio).
RGA monitor di processo ad alta sensibilità Vision 2000-P ™ e Vision 2000-P ™ XD – monitoraggio della pressione selezionabile per i livelli di contaminazione, ad es. durante il processo PVD (fino a 7.6e-3 Torr massima pressione operativa)
Resist-Torr® 300mm e Resist-Torr® XD 300 mm ad alta sensibilità – Rilevazione della contaminazione da photoresist ad alta pressione (~ 8 Torr massima pressione d’esercizio) degas

HPQ3 e HPQ3S RGA ad alta pressione – alta pressione (fino a  1e-3 Torr e 8e-3 Torr massima pressione operativa rispettivamente) monitoraggio anche di gas inerti; monitoraggio del processo e del pompaggio, rilevamento delle perdite, diagnostica del vuoto e velocità di risalita delle pressione.

Per le applicazioni più esigenti in cui è richiesta una sensibilità e riproducibilità ottimali, la gamma di spettrometria di massa del processo è disponibile con tecnologia V-lens ™ brevettata (Vision 2000-C XD, Vision 2000-E XD, Vision 2000-P XD) che consente una significativa riduzione del rumore di fondo ed una maggiore sensibilità.

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