Profilometro Ottico 3D Zeta-300 KLA:

Tecnologia Avanzata per Metrologia di Precisione


Il profilometro ottico 3D Zeta-300 di KLA rappresenta l’eccellenza nella misurazione topografica superficiale senza contatto. Questo sistema di metrologia ottica avanzato integra la rivoluzionaria tecnologia ZDot brevettata e l’ottica Multi-Mode, offrendo soluzioni complete per laboratori R&D e ambienti produttivi.

Caratteristiche Tecniche del Profilometro Zeta-300

Il sistema Zeta-300 si distingue per la sua versatilità, permettendo la misurazione topografia superficiale su campioni diversissimi: trasparenti e opachi, con riflettanza bassa o alta, superfici lisce o rugose, con altezze di gradino da nanometri a millimetri.

Tecnologie Ottiche Integrate

Questo profilometro senza contatto integra sei diverse tecnologie di metrologia ottica in un unico sistema configurabile:

  • ZDot: Acquisizione simultanea di scansioni 3D ad alta risoluzione e immagini True Color a fuoco infinito
  • ZI: Interferometria a scansione verticale (PSI e VSI) per misurazioni su ampie aree con alta risoluzione Z
  • ZIC: Contrasto di interferenza per dati 3D quantitativi di superfici con rugosità sub-nanometrica
  • ZSI: Interferometria di taglio per immagini con alta risoluzione Z
  • ZFT: Misurazione spessore film e riflettanza con riflettometro a banda larga integrato
  • AOI: Ispezione ottica automatica per quantificare i difetti sui campioni

Applicazioni del Profilometro Ottico 3D

Il Zeta-300 eccelle in diverse applicazioni di metrologia ottica:

Misurazioni Dimensionali

  • Altezza gradini 3D: da nanometri a millimetri con precisione eccezionale
  • Analisi texture: rugosità e ondulazione 3D su superfici lisce e molto rugose
  • Forma: curvatura 3D e analisi della forma
  • Stress: tensione di film sottili 2D

Caratterizzazione Materiali

  • Spessore film: film trasparenti da 30nm a 100µm
  • Ispezione difetti: rilevamento difetti superiori a 1µm
  • Revisione difetti: navigazione tramite file KLARF per misurazioni topografiche 3D

Settori di Applicazione

Il profilometro ottico 3D Zeta-300 trova applicazione in numerosi settori industriali:

  • LED e substrati: diodi emettitori di luce e substrati di zaffiro strutturati (PSS)
  • Semiconduttori: packaging WLCSP e FOWLP
  • Elettronica: PCB rigidi e flessibili
  • MEMS: sistemi micro-elettro-meccanici
  • Dispositivi medici: microfluidica e dispositivi biomedicali
  • Data storage: componenti per archiviazione dati
  • Ricerca: università e laboratori di ricerca

Vantaggi della Tecnologia ZDot

La tecnologia ZDot brevettata rappresenta un breakthrough nella metrologia ottica, permettendo:

  1. Acquisizione simultanea di dati 3D e immagini a colori
  2. Misurazione di superfici con caratteristiche ottiche diverse
  3. Velocità di acquisizione superiore rispetto ai sistemi tradizionali
  4. Qualità d’immagine eccezionale per ispezione e documentazione

Capacità Produttive e R&D

Il sistema Zeta-300 supporta sia ambienti di ricerca che produttivi grazie a:

  • Automazione completa: misurazioni automatiche con sequenziamento
  • Riconoscimento pattern: identificazione automatica delle aree di interesse
  • Interfaccia intuitiva: utilizzo semplificato per operatori di ogni livello
  • Flessibilità configurativa: adattamento a diverse esigenze applicative

Perché Scegliere Gambetti per il Zeta-300

Come distributore autorizzato KLA, Gambetti offre:

  • Consulenza tecnica specializzata pre e post-vendita
  • Supporto installazione e formazione operatori
  • Assistenza tecnica qualificata e parti di ricambio originali
  • Contratti di manutenzione personalizzati

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