Profilometro Ottico 3D Zeta-300 KLA

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Il profilometro ottico 3D Zeta-300 di KLA rappresenta l’eccellenza nella misurazione topografica superficiale senza contatto. Questo sistema di metrologia ottica avanzato integra la rivoluzionaria tecnologia ZDot brevettata e l’ottica Multi-Mode, offrendo soluzioni complete per laboratori R&D e ambienti produttivi.

Caratteristiche Tecniche del Profilometro Zeta-300

Il sistema Zeta-300 si distingue per la sua versatilità, permettendo la misurazione topografia superficiale su campioni diversissimi: trasparenti e opachi, con riflettanza bassa o alta, superfici lisce o rugose, con altezze di gradino da nanometri a millimetri.

Tecnologie Ottiche Integrate

Questo profilometro senza contatto integra sei diverse tecnologie di metrologia ottica in un unico sistema configurabile:

• ZDot: Acquisizione simultanea di scansioni 3D ad alta risoluzione e immagini True Color a fuoco infinito
• ZI: Interferometria a scansione verticale (PSI e VSI) per misurazioni su ampie aree con alta risoluzione Z
• ZIC: Contrasto di interferenza per dati 3D quantitativi di superfici con rugosità sub-nanometrica
• ZSI: Interferometria di taglio per immagini con alta risoluzione Z
• ZFT: Misurazione spessore film e riflettanza con riflettometro a banda larga integrato
• AOI: Ispezione ottica automatica per quantificare i difetti sui campioni

Applicazioni del Profilometro Ottico 3D

Il Zeta-300 eccelle in diverse applicazioni di metrologia ottica:

Misurazioni Dimensionali

• Altezza gradini 3D: da nanometri a millimetri con precisione eccezionale
• Analisi texture: rugosità e ondulazione 3D su superfici lisce e molto rugose
• Forma: curvatura 3D e analisi della forma
• Stress: tensione di film sottili 2D

Caratterizzazione Materiali

• Spessore film: film trasparenti da 30nm a 100µm
• Ispezione difetti: rilevamento difetti superiori a 1µm
• Revisione difetti: navigazione tramite file KLARF per misurazioni topografiche 3D

Settori di Applicazione

Il profilometro ottico 3D Zeta-300 trova applicazione in numerosi settori industriali:

• LED e substrati: diodi emettitori di luce e substrati di zaffiro strutturati (PSS)
• Semiconduttori: packaging WLCSP e FOWLP
• Elettronica: PCB rigidi e flessibili
• MEMS: sistemi micro-elettro-meccanici
• Dispositivi medici: microfluidica e dispositivi biomedicali
• Data storage: componenti per archiviazione dati
• Ricerca: università e laboratori di ricerca

Vantaggi della Tecnologia ZDot

La tecnologia ZDot brevettata rappresenta un breakthrough nella metrologia ottica, permettendo:

1. Acquisizione simultanea di dati 3D e immagini a colori
2. Misurazione di superfici con caratteristiche ottiche diverse
3. Velocità di acquisizione superiore rispetto ai sistemi tradizionali
4. Qualità d’immagine eccezionale per ispezione e documentazione

Capacità Produttive e R&D

Il sistema Zeta-300 supporta sia ambienti di ricerca che produttivi grazie a:

• Automazione completa: misurazioni automatiche con sequenziamento
• Riconoscimento pattern: identificazione automatica delle aree di interesse
• Interfaccia intuitiva: utilizzo semplificato per operatori di ogni livello
• Flessibilità configurativa: adattamento a diverse esigenze applicative

Perché Scegliere Gambetti per il Zeta-300

Come distributore autorizzato KLA, Gambetti offre:

• Consulenza tecnica specializzata pre e post-vendita
• Supporto installazione e formazione operatori
• Assistenza tecnica qualificata e parti di ricambio originali
• Contratti di manutenzione personalizzati