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Eccellenza nella litografia con modalità in scala di grigi
Scrittura diretta 2D e 2.5D per grandi aree
Laser Mask Writer per i semiconduttori
F54 è il nuovo strumento di Filmetrics per la misura e la mappatura dello spessore dei film sottili Per maggiori informazioni
Filmetrics F54-XY: sistema mappatura automatica spessore film fino a 300mm. Stage motorizzato, spot 5μm, 2 punti/sec. Wafer patterned e non.
Nuovo misuratore della resistività di Filmetrics, a contatto 4P e non a contatto eddy current Per maggiori informazioni
Filmetrics R50: sistema misurazione sheet resistance 4PP e Eddy Current. Stage 300mm, range 10 decadi, mappatura. Per semiconduttori e solare
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