Regolazione e controllo gas
Regolatori di flusso massico "mass flow controller"
Regolatori di flusso massico - serie G
regolatori di flusso massico della serie G, sono una famiglia di controllori di flusso gassoso, economici, alte prestazioni, molto versatili per l'industria
Regolatori di flusso massico - serie I
Regolatori di flusso massico serie-G, protezione IP66 per ambienti industriali
Regolatori di flusso massico - serie P
Regolatori di di flusso massico ad alte prestazioni progettati per applicazioni di processo critiche come: ripetibilità, ed indipendenza alla pressione
Controllori di flusso massico per applicazioni speciali
Regolatori e controllori di flusso termico massici, in fase vapore dove è richiesto il controllo del flusso ad elevate temperature
Controllori di flusso massico di tipo compatto
L'MF1 è un controllore di flusso di massa (MFC) di tipo generico per portate fino a 50 slm, ed utilizza un sensore interamente metallico.
Controllori e misuratori di flusso massici per alte portate
Regolatori di flusso per grandi portate con tenuta in elastomero o metallo
Controllori e misuratori della portata massici standard
Supporto su vecchi modelli di Mass Flow Control (controllori di flusso massico)
Partner
Nome di indiscusso prestigio nella produzione di strumenti e di sottosistemi integrati per la misurazione, il controllo ed il monitoraggio di tutti i parametri critici nel settore dei semiconduttori e in tutti gli altri settori produttivi avanzati.
Alla storica e ben conosciuta linea di strumenti per il controllo e la misura delle pressioni e dei gas, MKS Instruments ha negli ultimi anni affiancato un vasta gamma di prodotti complementari per fornire ai clienti OEM o end user, nell´industria come nella ricerca, un pacchetto di soluzioni globali, dal prodotto finito ad un servizio globale di assistenza di elevata professionalità .
L´eccellente livello qualitativo dei prodotti e delle tecnologie MKS Instruments forniscono le infrastrutture ai processi produttivi.
MKS può offrire una risposta per le seguenti esigenze:
- gestione dei flussi di gas in entrata ed uscita dalla camera di processo
- misura e controllo della pressione dei gas nella camera di processo
- analisi e monitoraggio della composizione del gas
- analisi dello spessore del film depositato e del profilo dei dopanti
- isolamento dell´ambiente di processo dall´ambiente esterno
- creazione di gas reattivi per processi o pulizia delle camere
- Facilitazione comunicazioni digitali tra i sensori e i sistemi di controllo
- analisi e monitoraggio dei gas di scarico
- taratura della strumentazione per assicurare la ripetibilità dei processi
MKS Instruments è leader riconosciuto in tutto il mondo per la precisione, la stabilità e la ripetibilità dei suoi prodotti, caratteristiche essenziali che permettono ad ogni cliente di replicare il processo su ogni impianto, in ogni azienda e in ogni paese. GGK ha iniziato il rapporto di collaborazione con MKS Instruments nel 1986. Questo rapporto di successo si è nel tempo consolidato permettendo di creare al nostro interno uno staff di vendita, di supporto applicativo e di assistenza di altissimo profilo.
Fasce riscaldanti e trappole
Fasce riscaldanti per impianti e componenti di processo
Partner
Nome di indiscusso prestigio nella produzione di strumenti e di sottosistemi integrati per la misurazione, il controllo ed il monitoraggio di tutti i parametri critici nel settore dei semiconduttori e in tutti gli altri settori produttivi avanzati.
Alla storica e ben conosciuta linea di strumenti per il controllo e la misura delle pressioni e dei gas, MKS Instruments ha negli ultimi anni affiancato un vasta gamma di prodotti complementari per fornire ai clienti OEM o end user, nell´industria come nella ricerca, un pacchetto di soluzioni globali, dal prodotto finito ad un servizio globale di assistenza di elevata professionalità .
L´eccellente livello qualitativo dei prodotti e delle tecnologie MKS Instruments forniscono le infrastrutture ai processi produttivi.
MKS può offrire una risposta per le seguenti esigenze:
- gestione dei flussi di gas in entrata ed uscita dalla camera di processo
- misura e controllo della pressione dei gas nella camera di processo
- analisi e monitoraggio della composizione del gas
- analisi dello spessore del film depositato e del profilo dei dopanti
- isolamento dell´ambiente di processo dall´ambiente esterno
- creazione di gas reattivi per processi o pulizia delle camere
- Facilitazione comunicazioni digitali tra i sensori e i sistemi di controllo
- analisi e monitoraggio dei gas di scarico
- taratura della strumentazione per assicurare la ripetibilità dei processi
MKS Instruments è leader riconosciuto in tutto il mondo per la precisione, la stabilità e la ripetibilità dei suoi prodotti, caratteristiche essenziali che permettono ad ogni cliente di replicare il processo su ogni impianto, in ogni azienda e in ogni paese. GGK ha iniziato il rapporto di collaborazione con MKS Instruments nel 1986. Questo rapporto di successo si è nel tempo consolidato permettendo di creare al nostro interno uno staff di vendita, di supporto applicativo e di assistenza di altissimo profilo.
Valvole a farfalla per downstream
Valvole a farfalla per il controllo della pressione downstream per processi PVD e plasma
Valvole di isolamento per il vuoto
Valvole di isolamento per il vuoto
Valvole da vuoto di tipo GATE
La valvole di isolamento tipo gate
Componentistica da vuoto
Flangie e compenenti da vuoto
Partner
Nome di indiscusso prestigio nella produzione di strumenti e di sottosistemi integrati per la misurazione, il controllo ed il monitoraggio di tutti i parametri critici nel settore dei semiconduttori e in tutti gli altri settori produttivi avanzati.
Alla storica e ben conosciuta linea di strumenti per il controllo e la misura delle pressioni e dei gas, MKS Instruments ha negli ultimi anni affiancato un vasta gamma di prodotti complementari per fornire ai clienti OEM o end user, nell´industria come nella ricerca, un pacchetto di soluzioni globali, dal prodotto finito ad un servizio globale di assistenza di elevata professionalità .
L´eccellente livello qualitativo dei prodotti e delle tecnologie MKS Instruments forniscono le infrastrutture ai processi produttivi.
MKS può offrire una risposta per le seguenti esigenze:
- gestione dei flussi di gas in entrata ed uscita dalla camera di processo
- misura e controllo della pressione dei gas nella camera di processo
- analisi e monitoraggio della composizione del gas
- analisi dello spessore del film depositato e del profilo dei dopanti
- isolamento dell´ambiente di processo dall´ambiente esterno
- creazione di gas reattivi per processi o pulizia delle camere
- Facilitazione comunicazioni digitali tra i sensori e i sistemi di controllo
- analisi e monitoraggio dei gas di scarico
- taratura della strumentazione per assicurare la ripetibilità dei processi
MKS Instruments è leader riconosciuto in tutto il mondo per la precisione, la stabilità e la ripetibilità dei suoi prodotti, caratteristiche essenziali che permettono ad ogni cliente di replicare il processo su ogni impianto, in ogni azienda e in ogni paese. GGK ha iniziato il rapporto di collaborazione con MKS Instruments nel 1986. Questo rapporto di successo si è nel tempo consolidato permettendo di creare al nostro interno uno staff di vendita, di supporto applicativo e di assistenza di altissimo profilo.
Sorgenti per il plasma remoto
Sorgenti al plasma RF, per energizzare e dissociare i gas.
Generatori di ozono
Generatori di ozono compatti e ad alta concentrazione
Partner
Nome di indiscusso prestigio nella produzione di strumenti e di sottosistemi integrati per la misurazione, il controllo ed il monitoraggio di tutti i parametri critici nel settore dei semiconduttori e in tutti gli altri settori produttivi avanzati.
Alla storica e ben conosciuta linea di strumenti per il controllo e la misura delle pressioni e dei gas, MKS Instruments ha negli ultimi anni affiancato un vasta gamma di prodotti complementari per fornire ai clienti OEM o end user, nell´industria come nella ricerca, un pacchetto di soluzioni globali, dal prodotto finito ad un servizio globale di assistenza di elevata professionalità .
L´eccellente livello qualitativo dei prodotti e delle tecnologie MKS Instruments forniscono le infrastrutture ai processi produttivi.
MKS può offrire una risposta per le seguenti esigenze:
- gestione dei flussi di gas in entrata ed uscita dalla camera di processo
- misura e controllo della pressione dei gas nella camera di processo
- analisi e monitoraggio della composizione del gas
- analisi dello spessore del film depositato e del profilo dei dopanti
- isolamento dell´ambiente di processo dall´ambiente esterno
- creazione di gas reattivi per processi o pulizia delle camere
- Facilitazione comunicazioni digitali tra i sensori e i sistemi di controllo
- analisi e monitoraggio dei gas di scarico
- taratura della strumentazione per assicurare la ripetibilità dei processi
MKS Instruments è leader riconosciuto in tutto il mondo per la precisione, la stabilità e la ripetibilità dei suoi prodotti, caratteristiche essenziali che permettono ad ogni cliente di replicare il processo su ogni impianto, in ogni azienda e in ogni paese. GGK ha iniziato il rapporto di collaborazione con MKS Instruments nel 1986. Questo rapporto di successo si è nel tempo consolidato permettendo di creare al nostro interno uno staff di vendita, di supporto applicativo e di assistenza di altissimo profilo.
Generatori RF per plasmi
Generatori RF, alimentatori DC, DC pulsata e reti d’adattamento
Generatori DC per plasmi
RPDG generatori DC per plasmi
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Nome di indiscusso prestigio nella produzione di strumenti e di sottosistemi integrati per la misurazione, il controllo ed il monitoraggio di tutti i parametri critici nel settore dei semiconduttori e in tutti gli altri settori produttivi avanzati.
Alla storica e ben conosciuta linea di strumenti per il controllo e la misura delle pressioni e dei gas, MKS Instruments ha negli ultimi anni affiancato un vasta gamma di prodotti complementari per fornire ai clienti OEM o end user, nell´industria come nella ricerca, un pacchetto di soluzioni globali, dal prodotto finito ad un servizio globale di assistenza di elevata professionalità .
L´eccellente livello qualitativo dei prodotti e delle tecnologie MKS Instruments forniscono le infrastrutture ai processi produttivi.
MKS può offrire una risposta per le seguenti esigenze:
- gestione dei flussi di gas in entrata ed uscita dalla camera di processo
- misura e controllo della pressione dei gas nella camera di processo
- analisi e monitoraggio della composizione del gas
- analisi dello spessore del film depositato e del profilo dei dopanti
- isolamento dell´ambiente di processo dall´ambiente esterno
- creazione di gas reattivi per processi o pulizia delle camere
- Facilitazione comunicazioni digitali tra i sensori e i sistemi di controllo
- analisi e monitoraggio dei gas di scarico
- taratura della strumentazione per assicurare la ripetibilità dei processi
MKS Instruments è leader riconosciuto in tutto il mondo per la precisione, la stabilità e la ripetibilità dei suoi prodotti, caratteristiche essenziali che permettono ad ogni cliente di replicare il processo su ogni impianto, in ogni azienda e in ogni paese. GGK ha iniziato il rapporto di collaborazione con MKS Instruments nel 1986. Questo rapporto di successo si è nel tempo consolidato permettendo di creare al nostro interno uno staff di vendita, di supporto applicativo e di assistenza di altissimo profilo.
