Ferrotec Temescal FC-2000/BJD-2000:

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I sistemi evaporazione Temescal FC-2000 e BJD-2000 rappresentano la soluzione ideale per applicazioni di ricerca e sviluppo e produzione su piccola scala. Questi versatili sistemi deposizione sottovuoto con campana convertibile (bell jar) sono progettati per offrire massima flessibilità operativa e compatibilità con ambienti clean room.

Caratteristiche Principali dei Sistemi Evaporazione

Differenze tra FC-2000 e BJD-2000

• FC-2000: Sistema con load-lock a ciclo rapido che mantiene la sorgente sotto vuoto durante il ricaricamento del substrato
• BJD-2000: Sistema non load-locked per applicazioni standard

Specifiche Tecniche Bell Jar

• Camera prodotto: Bell jar da 20 pollici con pareti raffreddate ad acqua
• Distanza sorgente-substrato: Standard 19,5″ (estendibile a 27,5″)
• Pompa cryopump: CT-400 da 17.500 L/sec (FC-2000)
• Tempo pompaggio: < 10 minuti per 1E-06 Torr (FC-2000)

Vantaggi dei Sistemi Deposizione Ferrotec Temescal

Manutenzione Semplificata

I sistemi evaporazione Temescal sono progettati per facilitare le operazioni di manutenzione grazie a:

• Porta di pompaggio offset per ridurre i tempi di fermo
• Pannelli a cerniera per accesso diretto al sistema di pompaggio
• Vassoio sorgente estraibile con paranco elettrico

Controllo Avanzato TCS (Temescal Control System)

Il sistema di controllo integrato offre:

• Modalità automatica, manuale e service con protezione password
• Monitoraggio variabili di processo (PVM)
• Interfaccia touchscreen a colori da 17″
• Data logging completo dei processi

Applicazioni Sistemi Evaporazione R&D

Questi sistemi deposizione film sottili sono perfetti per:

• Università e centri di ricerca
• Sviluppo processi e caratterizzazione film
• Produzione pilota
• Applicazioni lift-off e edge coating
• Deposizione planetaria ad alta velocità

Configurazioni Electron Beam Disponibili

Sorgenti E-beam

• Torretta standard o PopTop a 4-6 tasche
• Alimentatori CV-6SLX o CV-12SLX (6-12 kW)
• Controller TemEBeam per sweep, indice e alta tensione
• Fino a 4x25cc PopTop + 1 tasca fissa

Sistemi Vuoto e Controllo

• Pompa primaria dry da >60 cfm
• Cryopump CTI integrata
• Misuratori Inverted Magnetron attivi
• Controllo automatico rigenerazione cryopump

Opzioni e Upgrade Disponibili

Controllo Sistema

• Interfaccia SECS/GEM
• Monitoraggio temperatura camera
• Simulatore TCS per training offline
• Controller deposizione doppio per co-deposizione

Sorgenti e Alimentazione

• Upgrade a sorgenti PopTop
• Fino a tre sorgenti resistive
• Estensione pozzo sorgente da 8″
• Wire feeder singoli o doppi

Dimensioni e Installazione

Il sistema richiede spazio adeguato per:

• Rack elettronica standard da 19″ su ruote
• Accesso da clean room e lato chase
• Connessioni acqua di raffreddamento
• Sistema aria compressa controllato PLC

Supporto e Assistenza Ferrotec

Come rappresentanti autorizzati Ferrotec Temescal in Italia, offriamo:

• Consulenza tecnica specializzata
• Supporto installazione e training
• Assistenza post-vendita dedicata
• Ricambi originali e kit manutenzione